【廣告】
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務!
光刻是制造半導體器件和集成電路微圖形結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工藝。其工藝質(zhì)量直接影響著器件成品率、可靠性、器件性能以及使用壽命等參數(shù)指標。光刻版在使用過程中不可避免的會粘上灰塵、光刻膠等污染物,這些污染物的存在直接影響到光刻的效果。光罩是光刻工藝中的一個重要環(huán)節(jié),光刻版必須非常潔凈,所有硅片上的電路元件都來自版圖。如果光刻版不潔凈,存在污染顆粒,這些顆粒就會被到硅片表面的光刻膠上,造成器件性能的下降。
業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版,英文名稱 MASK 或 PHOTOMASK),材質(zhì):石英玻璃、金屬鉻和感光膠,該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設(shè)計好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會被顯影出來,在金屬鉻上形成電路圖形,成為類似曝光后的底片的光掩模版,然后應用于對集成電路進行投影定位,通過集成電路光刻機對所投影的電路進行光蝕刻,其生產(chǎn)加工工序為:曝光,顯影,去感光膠,后應用于光蝕刻。作為半導體、液晶顯示器制造過程中轉(zhuǎn)移電路圖形“底片”的高精密工具,光掩膜是半導體制程中非常關(guān)鍵的一環(huán)。
按石英含量可分為兩類:①長石石英巖,石英含量大于75%,常含長石及云母等礦物,長石含量一般少于20%。如長石含量增多,則過渡為淺粒巖。②石英巖,石英含量大于90%,可含少量云母、長石、磁鐵礦等礦物。
掩膜版是對勻膠鉻版經(jīng)過光繪加工后的產(chǎn)品。勻膠鉻版(光掩膜基版)由玻璃基板、鉻層、氧化鉻層和光刻膠層構(gòu)成的。通過光刻制版工藝,將微米級和納米級的精細圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。
根據(jù)基板材質(zhì)的不同主要可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時所常用的光刻掩膜版。