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涂層技術(shù)
增強(qiáng)型磁控陰極?。宏帢O弧技術(shù)是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積。增強(qiáng)型磁控陰極弧利用電磁場的共同作用,將靶材表面的電弧加以有效地控制,使材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。
過濾陰極?。哼^濾陰極電弧(FCA)配有的電磁過濾系統(tǒng),可將離子源產(chǎn)生的等離子體中的宏觀粒子、離子團(tuán)過濾干凈,經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為100%,并且可以過濾掉大顆粒,因此制備的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蝕性能好,與機(jī)體的結(jié)合力很強(qiáng)。
采用化學(xué)氣相沉積處理時,應(yīng)注意以下問題:
(1)要考慮模具銳角部分的凸起變形
由于涂層與基體的線脹系數(shù)不同,模具棱角處容易產(chǎn)生應(yīng)力集中,基材會被擠出形成凸起。可以采取的解決方法是:將銳角處加工成圓弧狀,或是估計凸起變形量的大小,預(yù)先加工成錐形。
(2)CVD沉積溫度高而帶來的尺寸和形狀變形
其變形程度取決于所選用的材料、形狀、沉積溫度、涂層厚度以及預(yù)備熱處理等。
在CVD處理過程中,尺寸變形小的材料是硬質(zhì)合金及含Cr高的不銹鋼系合金;沖壓加工領(lǐng)域使用的模具材料主要限于合金工具鋼、冷作模具鋼(Cr12MoV)、硬質(zhì)合金等,其中快冷淬透鋼,由于快冷時容易產(chǎn)生翹曲、扭曲等變形,所以不宜進(jìn)行CVD處理;而高速鋼是熱處理膨脹較大的鋼種,使用時必須充分估計其膨脹變形量。
不銹鋼基材真空物理氣相沉積鍍工藝,生產(chǎn)“黃金卷”
這種鋼卷以不銹鋼為基材,通過PVD(真空物理氣相沉積鍍工藝)制造成所需顏色,該技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、光學(xué)、機(jī)械、建筑、輕工、冶金、材料等領(lǐng)域,可制備具有耐磨、耐腐蝕、裝飾、導(dǎo)電、絕緣、光導(dǎo)、壓電、磁性、潤滑、超導(dǎo)等特性的膜層。日常生活中以手表的外殼、表帶為常見,另外就是家電、裝飾材料等。
等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)原理是利用低溫等離子體(非平衡等離子體)作能量源,工件置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使工件升溫到預(yù)定的溫度,然后通進(jìn)適量的反應(yīng)氣體,氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),在工件表面形成固態(tài)薄膜。它包括了化學(xué)氣相沉積的一般技術(shù),又有輝光放電的強(qiáng)化作用。