吸附常常是在壓力環(huán)境下進(jìn)行的，變壓吸附提出了加壓和減壓相結(jié)合的方法，它通常是由加壓吸附、減壓再組成的吸附一解吸系統(tǒng)。在等溫的情況下，利用加壓吸附和減壓解吸組合成吸附操作循環(huán)過程。20世紀(jì)90年代是我國變壓吸附制氧技術(shù)突飛猛進(jìn)向前發(fā)展的時(shí)期，變壓吸附制氧技術(shù)逐漸成熟。吸附劑對吸附質(zhì)的吸附量隨著壓力的升高而增加，并隨著壓力的降低而減少，同時(shí)在減壓（降至常壓或抽真空）過程中，放出被吸附的氣體，使吸附劑再生，外界不需要供給熱量便可進(jìn)行吸附劑的再生。因此，變壓吸附既稱等溫吸附，又稱無熱再生吸附。

當(dāng)分子篩吸附氮?dú)庵溜柡秃?，停止通空氣并降低吸附床的壓力，分子篩吸附的氮?dú)庾兘馕龀鰜?，分子篩得到再生并可重復(fù)使用。兩個(gè)以上的吸附床輪流切換工作，便可連續(xù)生產(chǎn)出氧氣。

氧氣和氮?dú)獾姆悬c(diǎn)接近，兩者很難分離，一起在氣象得到富集。因此變壓吸附制氧裝置通常只能獲得90-95%的氧氣(氧的極陰濃度為95.6%，其余為氣)又稱富氧。與深冷空分裝置相比，后者能制成99.5%以上濃度的氧氣。

吸附器內(nèi)裝填吸附劑,其中水分、二氧化碳、及少量其它氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附,隨后氮?dú)獗谎b填于活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣(包括氣)為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產(chǎn)品氣排至氧氣平衡罐。

當(dāng)該吸附器吸附到一定程度,其中的吸附劑將達(dá)到飽和狀態(tài),此時(shí)通過切換閥利用真空泵對之進(jìn)行抽真空(與吸附方向相反),真空度為0.65-0.75barg。已吸附的水分、二氧化碳、氮?dú)饧吧倭科渌鼩怏w組分被抽出并排至大氣,吸附劑得到再生。

 工業(yè)制氧設(shè)備的作業(yè)流程是由可編程操控器操控五個(gè)二位五通先導(dǎo)電磁閥，再由電磁閥別離操控十個(gè)氣動(dòng)管道閥的開、閉來完結(jié)的。五個(gè)二位五通先導(dǎo)電磁閥別離操控左吸、均壓、右吸狀況。VPSA制氧設(shè)備流程比較簡單，主要設(shè)備有鼓風(fēng)機(jī)、吸附塔和一些閥門，而深冷制氧機(jī)流程復(fù)雜，主要設(shè)備包括空壓機(jī)、過濾器、膨脹機(jī)、精餾塔、凈化裝置、一組換熱器等許多裝置。左吸、均壓、右吸的時(shí)刻流程現(xiàn)已存儲(chǔ)在可編程操控器中，在斷電狀況下，五個(gè)二位五通先導(dǎo)電磁閥的先導(dǎo)氣都接通氣動(dòng)管道閥的關(guān)沉默。當(dāng)流程處于左吸狀況時(shí)，操控左吸的電磁閥通電，先導(dǎo)氣接通左吸進(jìn)氣閥、左吸產(chǎn)氣閥、右排氣閥開啟口，使得這三個(gè)閥門翻開，完結(jié)左吸進(jìn)程，一起右吸附塔解吸。