刻蝕機(jī)目前國際上主要的供應(yīng)商為應(yīng)用材料、LamResearch等。中國方面技術(shù)有慢慢追上的趨勢(shì)，即將登錄科創(chuàng)板的中微半導(dǎo)體，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電(2330-TW)驗(yàn)證，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線。而北方華創(chuàng)則是在14nm技術(shù)有所突破。市場(chǎng)預(yù)估今明兩年中國刻蝕機(jī)需求分別達(dá)15億美元與20億美元。    拋光：可以使晶圓表面達(dá)到性的平坦化，以利后續(xù)薄膜沉積工序。美國應(yīng)用材料、Rtec等均為國際上主要供應(yīng)商，中國則有中電科裝備、盛美半導(dǎo)體等。但陸廠的產(chǎn)品才剛打入8寸晶圓廠中，12寸的相關(guān)設(shè)備還在研發(fā)，明顯與國際大廠有實(shí)力上的差距。市場(chǎng)預(yù)計(jì)今明兩年中國拋光機(jī)需求將達(dá)3.77億美元與5.11億美元。




在古時(shí)從事腐蝕加工的技師，不像我們今天這樣有很多的方法將圖文轉(zhuǎn)移到需要腐蝕的金屬表面。早的方法可能是采用一些石蠟、松香、瀝青等，也可能采用、桐油等天然有機(jī)材料。據(jù)記載到了16世紀(jì)時(shí)專門從事腐蝕加工的工匠們，要耐心地耗時(shí)數(shù)周甚至數(shù)月的時(shí)間，將這些材料按某種比例搗碎，再用液體瀝青或桐油調(diào)合，也可能是直接加溫熔化而制成保護(hù)涂料。然后用刷子仔細(xì)地把保護(hù)涂料涂抹在需要腐蝕的整個(gè)零件表面，經(jīng)午燥或冷卻硬化后;再用針或之類的硬物在保護(hù)層上把圖案制作出來，接下來就是用原始的方法進(jìn)行腐蝕加工。我們可以想象，他們是怎樣地在腐蝕部位周圍用石蠟等天然常溫固態(tài)樹脂筑起屏障，然后將酸液慢慢地加到需要腐蝕的部位上。我們可以估計(jì)到這些專門從事腐蝕的工匠們會(huì)遇到的各種困難，比如:防蝕層的粘著力不夠，在還沒有達(dá)到腐蝕深度要求時(shí)，防蝕層就可能全部或部分脫落，這時(shí)就需要用手工來拋光以去掉所有的腐蝕斑痕;用石蠟等天然樹脂所筑起的防蝕墻并不能很好地防止酸的外溢，使零件的外緣或其他部位遭到腐蝕，而這些零件在進(jìn)行腐蝕之前就已經(jīng)加工完成，同時(shí)已具有昂貴的價(jià)值，并由此而承擔(dān)極大的風(fēng)險(xiǎn)。隨著其他輔助技術(shù)和有機(jī)材料的發(fā)展，可以用非金屬材料制作成大的容器，同時(shí)也逐漸掌握了使用防蝕涂料對(duì)零件其他部位的保護(hù)，這時(shí)就可以直接將零件浸人一足可。

以不銹鋼US304的腐蝕加工為主

　　蝕刻機(jī)里添加化學(xué)蝕刻液為：三氯化鐵

　　化學(xué)式：FeCl3=FeCl3·6H2O

　　一.蝕刻液條件

　　波美度： 38°—42°

　　藥液溫度： 45°—50°

　　PH值測(cè)量區(qū)間： 1PH-3PH

　　氧化劑 FeCl3

　　二.新反應(yīng)過程

　　三氯化鐵蝕刻液對(duì)不銹鋼的蝕刻是一個(gè)“氧化---還原”過程：

　　1.氧化反應(yīng)：2FeCl3 Fe=3FeCl2

　　三氯化鐵 不銹鋼 水=氯化亞鐵 板材蝕刻成品 水 不銹鋼雜質(zhì)