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公司于2008年通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。目前在國內(nèi)先后成立了濟(jì)南、成都、沈陽、上海四家分公司,2000年成立濟(jì)南鑫能信洗凈設(shè)備有限公司,于2007年公司和山東大學(xué)合作注冊濟(jì)南巴克超聲波科技有限公司,專業(yè)從事超聲波清洗設(shè)備、中高壓噴洗設(shè)備的的研發(fā)、制造與銷售。
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡介
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)
1.設(shè)備占地面積小,方便維護(hù)保養(yǎng)。
2.除人工上下料外,零件清洗過程全自動運(yùn)行;
3.清洗工藝集成度高,在一個工位完成多個工序;
此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因為化學(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時間比較短,對反應(yīng)需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少,對控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。
隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來越先進(jìn),對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求,清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。
清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感,而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響,實際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。
公司于2008年通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,先后與國外80多個國家合作,并與中國航發(fā)、大眾、華為、小松機(jī)械、伊頓、沃德、長城、重汽、美利信、費(fèi)斯托、中車、中航工業(yè)等企業(yè)達(dá)成長期戰(zhàn)略合作關(guān)系。
工作原理:手動放入——泵浦增壓——集中10um過濾——噴淋在線清洗——回收——泵浦增壓——在線0.45um三級過濾——噴淋在線漂洗——風(fēng)切干燥——加熱烘干——手動取出。