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真空電鍍加工鋁合金電鍍加工
真空電鍍加工系統(tǒng)由機(jī)械泵、分散泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。依據(jù)工藝要求挑選鍍制方法,如電阻蒸騰,磁控源以靶材材質(zhì)及尺度多弧源,真空計量可挑選數(shù)字式智能真空計及其的計量規(guī)管,及其它計量儀器,如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,透過率計等。
PVD鍍膜的具體原理是什么?
離子鍍膜(PVD鍍膜)技術(shù),其原理是在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)電離,在電場的作用下,使被蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。
真空電鍍原理說明:
真空電鍍的鍍膜方式分為真空蒸鍍(PVD)與真空濺鍍(SPUTTER)二種:
(1) 真空蒸鍍(PVD)
此乃早期之真空電鍍模式,其原理乃利用鎢絲來當(dāng)電極,當(dāng)鎢絲被通以電流加熱至鋁金屬之熔點(700至 800℃)時,此時置放在鎢絲上之鋁金屬即被蒸發(fā)為鋁原子團(tuán),此時鋁原子團(tuán)再一層一層表面之被鍍物,故此制程亦被稱為PVD,物理氣相沉積。