潔凈空調(diào)配電、照明燈具配電和其他機(jī)器設(shè)備的配電應(yīng)單獨(dú)設(shè)置并單

潔凈空調(diào)配電、照明燈具配電和其他機(jī)器設(shè)備的配電應(yīng)單獨(dú)設(shè)置并單獨(dú)控制。網(wǎng)絡(luò)線、墻壁設(shè)備電源運(yùn)用固有線路，配電箱、電源插座、照明燈具電源開關(guān)和網(wǎng)絡(luò)面板均為暗裝。無塵車間應(yīng)按照生產(chǎn)制造要求提供充足的照明，在設(shè)計和施工前都要進(jìn)行復(fù)核。無塵車間內(nèi)每個單獨(dú)區(qū)域照明燈電源開關(guān)都應(yīng)單獨(dú)控制。照明燈具安裝應(yīng)便于清潔。室內(nèi)潔凈照明燈具安裝完畢之后，應(yīng)該及時清掃。

無塵車間設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的潔凈度級別一般都

內(nèi)廊式：無塵車間設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，甚至和無塵車間同級。兩端式：潔凈區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)潔凈和輔助用房。核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中會發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

空調(diào)機(jī)房靠近要求送風(fēng)量大的無塵車間,力求風(fēng)管的線路

空調(diào)機(jī)房靠近要求送風(fēng)量大的無塵車間，力求風(fēng)管的線路。但從防止噪聲和振動來說又要求把無塵車間與機(jī)房隔開。這兩方面都予以考慮。隔開方式有：構(gòu)造分離方式。有以下幾種：（1）沉降縫隔開式。使沉降縫在無塵車間與機(jī)房之間通過，起分割作用。（2）夾壁墻隔開式。如果機(jī)房緊靠無塵車間，不是公用一面墻隔墻，而是各自有各自的隔墻，而兩面隔墻之間留有一定寬度的夾縫。（3）輔助室隔開式。在無塵車間與機(jī)房之間設(shè)輔助室，起緩沖作用。