新模式是徹底顛覆初中過(guò)濾的傳統(tǒng)模式，采用逆向液體高壓噴淋模式，同步動(dòng)態(tài)消毒、自動(dòng)除塵，形成交叉縱橫系統(tǒng)，即為新風(fēng)進(jìn)入機(jī)組先是消毒、除塵，是避免管道積塵及二次污染;回風(fēng)進(jìn)入機(jī)組后，通過(guò)除塵、消毒后達(dá)標(biāo)排放。這樣在不影響空氣流量、壓力控制、過(guò)濾系統(tǒng)、溫度、濕度等一些列問(wèn)題，做到了恒效運(yùn)行、自動(dòng)除塵、節(jié)能減排及削減成本。

傳統(tǒng)初中過(guò)濾的凈化方式：市場(chǎng)認(rèn)可度高，也是無(wú)塵車(chē)間凈化空氣、去除分子污染的唯1方式，且過(guò)濾器市場(chǎng)已經(jīng)形成密而細(xì)的龐大產(chǎn)業(yè)鏈?，F(xiàn)在，在數(shù)個(gè)企業(yè)應(yīng)用了恒效運(yùn)行的自動(dòng)除塵凈化系統(tǒng)，做到了在動(dòng)態(tài)1萬(wàn)等級(jí)潔凈度不用任何初中過(guò)濾器，同步動(dòng)態(tài)消毒，并能有效避免傳統(tǒng)方式的微生物二次污染、管道積塵、頻繁濾材更換等缺陷。因此，這兩種凈化方式不在一個(gè)技術(shù)層次上，無(wú)法比較，只能說(shuō)后者顛覆前者并取代前者，使無(wú)塵車(chē)間技術(shù)更還更快的發(fā)展。

潔凈廠房使用驗(yàn)收后，應(yīng)編寫(xiě)使用驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，其主要內(nèi)容有：

1 潔凈廠房中各種設(shè)施(包括生產(chǎn)工藝設(shè)備)等的開(kāi)啟狀態(tài)描述;

2 測(cè)試的潔凈室(區(qū))人員及其活動(dòng)情況的描述;

3 分項(xiàng)測(cè)試記錄及分析意見(jiàn)(包括測(cè)試點(diǎn)位置、座標(biāo)等);

4 測(cè)試儀器的有效校驗(yàn)證書(shū);

5 驗(yàn)收出具相關(guān)結(jié)論。

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對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車(chē)及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。