頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高i精度絕i對反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

1點1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機制

易于分析向?qū)В鯇W(xué)者也能夠進行光學(xué)常數(shù)分析

獨立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

測量項目：

絕i對反射率測量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度（粗糙度）時，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模擬為“粗糙層”，可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。

膜厚測試儀的預(yù)熱 　　關(guān)機超過3個小時開機必做。點擊“波數(shù)”，將波譜校準片放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設(shè)定測量時間為6S重復(fù)測量次數(shù)為30~50次,點擊Go鍵，等待自動連續(xù)測量完成。

膜厚儀是一種比較精密的監(jiān)測設(shè)備，它在平時的使用中對于精準度的要求很高，但是還是會有誤差的現(xiàn)象發(fā)生，除了儀器本身的一些故障以外，環(huán)境因素也是造成誤差的一大“元兇”。