大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

膜厚儀測試時有關輻射安全注意事項

幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線管而產(chǎn)生輻射。測量頭的設計完全符合國際X射線安全要求：　　·測量頭控制臺上的一個鑰匙開關通過打開或關閉X射線管上的高壓決定X幅射的產(chǎn)生與否；　　·一個多級故障自動保險互鎖系統(tǒng)可控制X幅射的產(chǎn)生，從而有效保護操作者的安全；　　·如果測量門沒有完全關閉，X幅射就不會進入測量室；　　·足夠的遮罩用來減小外部的幅射量。

　膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜，其厚度遠大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今，微電子薄膜，光學薄膜，抗1氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應用，在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個非常重要的參數(shù)，直接關系到該薄膜材料能否正常工作。

1.膜厚測試儀出現(xiàn)下列情況，必需重新校準?！　　ば蕰r，輸入了一個錯誤值；　　·操作錯誤?！　?.在直接方式下，如果輸入了錯誤的校準值，應緊接著做一次測量，隨后再做一次校準，即可獲取新值消除錯誤值。　　3.每一組單元中，只能有一個校準值?！　?.零點校準和二點校準都可以重復多次，以獲得更為精準的校準值，提高測量精度但此過程中一旦有過一次測量，則校準過程便告結束。