基板S沿圖中X軸方向移動,由CXD影像處理器22擷取視野內影像,CCD影像處理器22根據(jù)該影像計算偏移量,即,基板S邊緣Rl與CCD影像處理器22的邊緣R2之間的偏移量Λ y,并將該偏移量的信息提供給驅動裝置23,驅動裝置23根據(jù)接收到的偏移量的信息提供相應的輸出量,帶動與驅動裝置23的輸出端連接的邊緣曝光機21沿Y軸方向移動,與基板S邊緣Rl對齊,從而進行準確的邊緣曝邊。
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高精密蝕刻通常所指金屬蝕刻也稱不銹鋼蝕刻,通常是不銹鋼通過曝光制版、顯影,將要蝕刻區(qū)域的保護油墨去除,再放入蝕刻機中,通過淋噴蝕刻液從而達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果.不銹鋼蝕刻可以分為干式蝕刻和濕式蝕刻兩類.高精密蝕刻廠家運用的是濕式蝕刻;濕式蝕刻與傳統(tǒng)的機械沖制方法相比,具有生產(chǎn)周期短;蝕刻件表面狀況和蝕刻層結合力的關系 蝕刻層結合力是精密蝕刻層性能和質量好壞的重要指標,結合力強說明蝕刻層附著在蝕刻件表面的能力強