凈化工程中空氣凈化處理方案：

    ●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車(chē)間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無(wú)塵室或凈化車(chē)間面積較大時(shí)，位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

    ●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口參入凈化車(chē)間內(nèi)的防灌倒措施。

    潔凈室凈化工程檢測(cè)點(diǎn)的安置：依據(jù)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GBJ73-84《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的規(guī)則：在對(duì)凈化車(chē)間進(jìn)行潔凈度檢測(cè)時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)為距室內(nèi)地坪1.00m的水平面內(nèi);關(guān)于單向流型凈化車(chē)間測(cè)點(diǎn)總數(shù)應(yīng)不小于20點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)間距為0.5-2.0m。水平單向流測(cè)點(diǎn)僅安置在一凈化車(chē)間工作區(qū)內(nèi);非單向流凈化車(chē)間按凈化車(chē)間面積小于或等于50m2安置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。

    我國(guó)的潔凈室工程開(kāi)始于20世紀(jì)60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開(kāi)展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級(jí)單向流潔凈室;與此同時(shí)，潔凈廠房用設(shè)備和資料，如過(guò)濾器，潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產(chǎn)，雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距，但已能滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)部分需求，到20世紀(jì)70年代末我國(guó)潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開(kāi)展走向成熟階段。