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真空磁控濺射鍍膜設備按需定制【至成真空科技】

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發(fā)布時間:2020-12-22 06:35  









真空鍍膜機的真空室該如何設計呢?


真空鍍膜機相比大家都存有疑惑,今天來討論一下的是關于真空鍍膜設備真空室的設計問題,要是您有興趣了解的話可以和寶瑞鈦金一起來看看下面的內容。

真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或者化學方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術根據其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設備的一個主要組成部位,真空鍍膜設備真空室設計主要考慮的就是密封性和可靠性,結構必須要合理,真空設備的材料生產都是在真空室內進行的,材料對真空度的影響要小,設計不能馬虎,要注意一些問題。



多弧離子真空磁控濺射鍍膜機工作原理蒸發(fā)系統(tǒng)的結構與工作原理介紹

多弧離子鍍膜機是一種、無害、無污染的離子鍍膜設備,具有堆積速度快、離化率高、離子能量大、設備操作簡略、本錢低、出產量大的長處。

真空多弧離子鍍膜機偏壓電源的作業(yè)原理

離子鍍膜正本是離子濺射鍍膜,關于導電靶材,運用直流偏壓電源;非導電靶材,運用脈沖偏壓電源。有的多弧離子鍍膜機,可能還需求直流電弧電源或脈沖電弧電源

偏壓電源正本即是在陰極和樣品所在位置的陽極之間構成偏壓電場,通常是陰極加負高壓。陰極外表的自由電子在電場效果下定向加快發(fā)射,發(fā)射電子炮擊氣體分子,使之電離,并且氣體被驅出的電子被電場加快,持續(xù)電離別的氣體分子,接二連三,構成雪崩效應,氣體被擊穿,構成穩(wěn)定的電離電流。此刻離子也被加快,炮擊靶材,將靶材中的原子驅除出外表,并堆積在樣品外表。


真空磁控濺射鍍膜機的維護保養(yǎng)及安全工作措施

真空卷繞鍍膜機的維護保養(yǎng)及安全工作措施如下:

1、設備接地必須可靠,并經常檢查接地裝置導電作用。

2、擴散泵和油增壓泵在加熱情況下,切勿與大氣接觸,以免泵油氧化。

3、定期檢查和調整水流繼電器,檢查斷水報警是否正常,保證設備冷卻水供水暢通。

4、擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水,泵停止工作,但泵內未冷卻至80℃以下時,不得切斷冷卻水,以防止泵芯燒毀。

5、鍍膜工作前必須接通全部設備冷卻水,以防止電極和基材燒毀。

6、在拆裝設備各零部件時,應注意保護各密封工作面不受機械劃傷或損傷,以保證設備密封性能可靠。

7、設備各傳動轉軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封內腔均充以潤滑油。使用一段時間就會損耗,必須以相同的潤滑油充入。

8、經常檢查羅茨泵和滑閥泵的存油量,并定期予以補充。同時按其說明書的要求進行維護保養(yǎng)。

9、定期檢查各行程開關控制器,保證各工作部件處于正常工作狀態(tài)。

10、每天應對滑閥泵和氣源進行排水。

11、定期檢查各減速器的儲油量及油質。


維修真空鍍膜機一定要按照步驟操作

維修真空鍍膜機一定要按照步驟操作 首先我們要保證鍍膜機與地面充分接觸,擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開維持泵。擴散泵和增壓泵停止工作,維持泵半小時后才能關,1小時后斷水,但泵內未冷卻至80℃以下時,不得切斷冷卻水,以防止泵芯燒毀。 擴散泵和增壓泵各留有備用水出口,若鍍膜機故障或停電必須開備用出口讓其冷卻擴散泵和增壓泵,鍍膜工作前必須接通全部設備冷卻進水,以防止電極和基體材料燒毀。設備各傳動轉軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封內間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴散泵油。使用一段時間即會損耗,必須以相同的真空油脂和擴散泵油充入,決不能用其他油品代替。


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