濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件

濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括： 1、細菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

技術豎井如果說技術夾道(墻)往往不越層,則需要越層時即用技術

技術豎井 如果說技術夾道（墻）往往不越層，則需要越層時即用技術豎井，并且經(jīng)常作為建筑結構的一部分，具有性。 由于技術豎井把各層起來，為了防火，內(nèi)部管線安裝完成后，要在層間用耐火極限不低于樓板的材料封閉，檢修工作分層進行，檢修門必須設防火門。 不論技術夾層、技術夾道還是技術豎井，當直接兼作風道時，其內(nèi)表面必須按潔凈室的內(nèi)表面的要求處理。 機房位置 空調(diào)機房靠近要求送風量大的潔凈室，力求風管的線路。但從防止噪聲和振動來說又要求把潔凈室與機房隔開。

凈化車間的這些常用設備也必須要了解

1、10萬級凈化車間工作人員和進入潔凈室內(nèi)需先經(jīng)過緩沖間/風淋室，物品只能從傳遞窗進入。

2、進入10萬級凈化車間工程區(qū)之前先進入緩沖區(qū)，緩沖區(qū)門安裝電子互鎖，更衣處放置潔凈儲衣柜，空氣清新機。

3、在10萬級凈化車間工程局部需要達到10-1000級地方安裝垂直層流工作臺，層流罩(FFU)，潔凈棚(可移式凈化工作棚)，自凈器。測潔凈室潔凈度用激光塵埃粒子計數(shù)器。

4、10萬級凈化車間工程進風系統(tǒng)要安裝：新風過濾箱，中央凈化空調(diào)(中央凈化空調(diào)要分為初效/中效/三個過濾段)末端有送風口，有必要時還裝有凈化增壓箱。

5、10萬級凈化車間回風系統(tǒng)要安裝：回風口，過濾初效器，中效回風箱。 以上是建設10萬級凈化車間所需要的設備，凈化車間潔凈度的維護離不開這些設備，具體的還需要根據(jù)實際情況。