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無塵潔凈車間工程主要的作用是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵凈化車間。
傳統(tǒng)的無塵車間設計主要已清潔規(guī)則、墻壁、天花板、地面表面、空氣流量、溫度、濕度、壓力控制、照明、風機過濾機組等構成。歸納后只有建筑安裝和凈化主機兩大塊,前者是屬于勞務型,后者是技術型,是我國無塵車間技術持續(xù)發(fā)展的“瓶頸”。凈化主機技術的創(chuàng)新關系到空氣流量、壓力控制、過濾系統(tǒng)、溫度、濕度等一些列問題,因此沒有一家企業(yè)或研究機構愿意去觸及,至此形成以初中過濾器循環(huán)過濾凈化的傳統(tǒng)模式。
無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。
對C/R而言,其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會引起塵埃,而太軟的地板會造成地板彎曲甚致裂,但并不是所有C/R的地板,都會覆蓋,乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式,而多面層流都是沖孔式。乙烯基有一作用即脫氧,但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果,而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴,但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表面增厚,不易氧化,再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
C/R很怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板,這類型的天花板優(yōu)點為,放置方式并沒有嚴格的限制。C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成,但必須在表層涂上一層保護層,否則亦會腐蝕,它并不容易電鍍,而在表層涂上的保護層會變得易碎,很容易剝落,但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼,就不必涂上保護層7,而使用玻璃作的C/R會使得房間的光線大增,以及美觀,但必須涂上一抗紫外線的障礙物,且可以視覺互通,較不會產(chǎn)生幽閉恐懼癥。