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然而對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)
符合以下原則:
1、潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
2、相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
無(wú)塵車(chē)間風(fēng)量該如何計(jì)算?
根據(jù)工藝要求確定無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級(jí),并決定利用全室空氣凈化還是局部空氣凈化,根據(jù)表選型表確定空氣氣流型式,無(wú)塵車(chē)間凈化空調(diào)的計(jì)算方法如下:
1.計(jì)算新風(fēng)量,取下列兩項(xiàng)中的大者,計(jì)算方法略;
(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持正壓值所需新鮮空氣量之和。
(2)保證潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3/小時(shí)。
2.計(jì)算潔凈室的冷熱負(fù)荷;
3.計(jì)算送風(fēng)量,取下列三項(xiàng)中的很大值,計(jì)算方法略;
(1)為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量。
(2)根據(jù)熱.濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量。
(3)向潔凈室內(nèi)的供給的新鮮空氣量(新風(fēng)量)。
4.根據(jù)送風(fēng)量,冷熱負(fù)荷和選擇的氣流組織形式,計(jì)算氣流組織各參數(shù);
5.確定空氣加熱冷卻的處理方案,用一次回風(fēng)還是二次回風(fēng);
6.根據(jù)工業(yè)要求或氣流組織計(jì)算時(shí)確定的送風(fēng)溫差及室內(nèi)外計(jì)算參數(shù),在i-d圖上確定各狀態(tài)點(diǎn),計(jì)算空調(diào)器處理風(fēng)量,潔凈室循環(huán)風(fēng)量;
7.計(jì)算總冷熱負(fù)荷,選擇空氣處理設(shè)備;
8.校核潔凈室內(nèi)的微粒濃度和細(xì)菌濃度。
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過(guò)性的病毒或細(xì)菌的污染之特性。在biotech市場(chǎng),清洗真正地是一個(gè)很重要的企業(yè)。
電子潔凈廠的設(shè)計(jì)必須符合相關(guān)的工藝標(biāo)準(zhǔn),當(dāng)然,在實(shí)際的設(shè)計(jì)過(guò)程中,它們的要求也是不同的。層流手術(shù)室手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對(duì)微生物污染采取程度不同的控制,達(dá)到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類(lèi)手術(shù)之要求;并提供適宜的溫、濕度,創(chuàng)造一個(gè)潔凈舒適的手術(shù)空間環(huán)境。由于手術(shù)室要嚴(yán)格控制低細(xì)菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度,所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗(yàn)收指標(biāo)。