凈化車間工程傳統(tǒng)技術(shù)與無塵室新技術(shù)的對比無塵空氣凈化車間的結(jié)構(gòu)組成說明：按照無塵凈化車間管理規(guī)定，無塵凈化級別主要就是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子的數(shù)量來規(guī)定。但是對于光學(xué)構(gòu)造來講，一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都可能會產(chǎn)生非常大的不好的影響。因此在無塵凈化車間管理規(guī)定中說明在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，要求無塵凈化車間無塵是必然的。

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無塵凈化車間工程，由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成，它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無塵凈化車間空氣灰塵微粒數(shù)，調(diào)節(jié)車間溫度和溫度。) 風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是車間凈化系統(tǒng)的三個基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出潔凈區(qū)的通道，利用噴出的高速潔凈氣流，可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細(xì)菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁，上部彩鋼天花吊頂，地板用環(huán)氧樹脂鋪成。

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。