氦質(zhì)譜檢漏儀

設(shè)備是產(chǎn)生、改善并維持真空的裝置，包括真空應(yīng)用設(shè)備及真空獲得設(shè)備。真空系統(tǒng)設(shè)備的真空系統(tǒng)是核心，主要由真空獲得、真空測量、真空腔體（或容器）以及控制輔助等部件（如真空閥門、管道等）。其在使用過程中如果真空度達不到或者達到真空度速度慢都會影響企業(yè)的生產(chǎn)效

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氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏率

機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試

配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷

雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計，防大氣沖擊

支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用

可檢漏率（負壓模式）         5×10-13Pa?m3/s

可檢漏率（正壓模式）         1×10-8Pa?m3/s

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理

將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，終達到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置。可以看出鐘罩法是基于噴吹法的一種檢漏方法。