質譜儀真空泵的保養(yǎng)方法，真空泵使用到一定的時間要做保養(yǎng)與維修。真空泵維修必須由接受過適當培訓的技術員來維護，確認該技術員對泵油及系統(tǒng)的產(chǎn)物十分熟悉，做維護之前必須將泵停下，降到安全的溫度，斷開泵及其他元件與電路的連接，以避免發(fā)生意外。近來，也有不少核心技術突破了國外技術封1鎖，填補了國內空白，讓我們看到了國產(chǎn)儀器崛起的曙光。維護完畢，在沒接上電源之前，重新檢查一下泵的旋轉方向。O型圈和墊圈如果損壞不可重復利用。

質譜儀的日常維護，調諧完成后要評價調諧報告：檢查峰的形狀是否有明顯的分叉、是否對稱;檢查半高峰寬的值是否在0.6±0.1范圍內;zui強峰是m/z 69，其峰強度是否zui少是m/z 28峰強度的2倍;m/z 502的相對強度比率是否大于2%。根據(jù)中國海關統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，我國質譜儀進口金額整體呈現(xiàn)逐年增加的趨勢，。以上幾點都符合，表明此次調諧數(shù)據(jù)是可用的。清洗離子源時離子源上下兩個電子導入孔清洗不干凈，會導致電子導入效率降低，從而加快燈絲消耗。

氣體分析質譜儀：主要有：呼氣質譜儀、氦質譜檢漏儀等。除以上分類外，還可以從質譜儀所用的質量分析器的不同，將質譜儀分為雙聚焦質譜儀、四極桿質譜儀、飛行時間質譜儀、離子阱質譜儀、傅里葉變換質譜儀等。

如果油位在z*低限或低于z*低限，打開加油孔，加油至z*高限，如加得過滿可從出口放掉點。如果油污染嚴重時，放掉受污染的油，清洗泵后加入干凈的油。