?光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)機組（AHU） 風(fēng)機過濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4 、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機組（AHU）內(nèi)增設(shè)化學(xué)過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風(fēng)混合-化學(xué)過濾器（NH4 ）-化學(xué)過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

除CP室外的潔凈室所需新風(fēng)采用2臺新風(fēng)機組（MAU-1、2）集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機組（AHU）。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-各循環(huán)空調(diào)機組（AHU）。

　　在潔凈工程中，實驗室凈化并非是安裝凈化設(shè)備就足夠了，各類凈化設(shè)備的應(yīng)用，分區(qū)布局的調(diào)整控制，建筑學(xué)、凈化學(xué)等等工種的相關(guān)常識都必須熟悉或精通。室內(nèi)溫濕度、潔凈度、氣流、壓強、換氣次數(shù)設(shè)置等都要科學(xué)合理，不得出現(xiàn)設(shè)置值與實際需求過大，造成資源浪費現(xiàn)象。

　　至于說凈化工程公司如何使實驗室達(dá)到一塵不染的效果，是因為“”，即通過對室內(nèi)任何影響實驗結(jié)果的微粒子等污染進(jìn)行嚴(yán)格把控，達(dá)到準(zhǔn)確結(jié)果，同時為工作人員營造一個舒適化工作環(huán)境。

凈化工程建設(shè)過程中值得關(guān)注的小問題

　　空調(diào)凈化是凈化工程中的能耗大戶，凈化工程的設(shè)計與施工中需關(guān)注節(jié)能措施。在設(shè)計中，系統(tǒng)及區(qū)域的劃分，送風(fēng)量計算，溫度與相對溫度的確定，潔凈級別與換氣次數(shù)的確定，新風(fēng)比，風(fēng)管保溫，風(fēng)管制作中的咬口形式對漏風(fēng)率的影響，干管支管連接角度對氣流阻力的影響，法蘭連接是否漏風(fēng)等以及空調(diào)箱、風(fēng)機、冷水機組等設(shè)備選擇無一不與能耗有關(guān)，所以，這些細(xì)節(jié)必須要考慮到。

　　關(guān)于空調(diào)箱的選擇，應(yīng)考慮所處的氣候環(huán)境。如在冬季氣溫低、空氣含塵量大的北方地區(qū)，則應(yīng)在通用的空調(diào)機組上增設(shè)新風(fēng)預(yù)熱段，采用淋水式空氣處理方式，使其既對空氣洗塵又使其產(chǎn)生熱溫交換達(dá)到所要求的溫、濕度。而在氣候濕潤，空氣含塵濃度較低的南方地區(qū)，則冬季也無需對新風(fēng)預(yù)熱，對空氣的過濾及溫、濕度的調(diào)節(jié)則采用初效過濾，表冷面調(diào)節(jié)溫濕度，也可加強溫減濕工序，空調(diào)箱配套風(fēng)機采用變頻風(fēng)機，這不僅節(jié)能，還可靈活調(diào)節(jié)風(fēng)量風(fēng)壓。