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光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)4、設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)材料1。光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施
管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)材料1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。
單向流潔凈室,從送風(fēng)口到回風(fēng)口,氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒(méi)有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和過(guò)濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒(méi)有渦流。這也就是單向流潔凈室的特點(diǎn)。這里的流線單向平行,是指時(shí)均流線彼此平行,方向單一,并且干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,前聯(lián)邦德國(guó)有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞,沿著房間這個(gè)“氣缸”,向前(下)推進(jìn),而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒(méi)有返回,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。