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等離子干法刻蝕技術(shù)是利用等離子體進(jìn)行薄膜微細(xì)加工的技術(shù)。在典型的干法刻蝕工藝過程中,一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體,干法刻蝕技術(shù)由于具有良好的各向異性和工藝可控性已被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域,憑借在等離子體控制、反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)、刻蝕工藝技術(shù)、軟件技術(shù)的積累與創(chuàng)新,北方華創(chuàng)微電子在集成電路、半導(dǎo)體照明、微機(jī)電系統(tǒng)、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體等領(lǐng)域可提供高端裝備及工藝解決方案。形成了對硅、介質(zhì)、化合物半導(dǎo)體、金屬等多種材料的刻蝕能力,其中應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的硅刻蝕機(jī)已突破14nm技術(shù),進(jìn)入主流芯片代工廠,其余各類產(chǎn)品也憑借其優(yōu)異的工藝性能成為了客戶的。
2020金屬蝕刻設(shè)備多少錢一臺安穩(wěn)供貨
金屬蝕刻機(jī)作業(yè)原理及用途
金屬蝕刻機(jī)可加工化學(xué)蝕刻或CNC機(jī)械雕刻機(jī)不方便或難以加工的金屬工件,資料可所以鈦金屬、鈦合金或其他任何高硬度該耐酸性金屬。金屬蝕刻機(jī)的加工制造工藝在一般的制造類廣告公司中常常能夠看到。
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