氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理，希望對您有所幫助！

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器對其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號，而對其他氣體沒有響應(yīng)，從而檢漏。真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。

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真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點

1、高壓氮氣強(qiáng)度檢測真空箱內(nèi)進(jìn)行，保護(hù)操作者安全

2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、。

3、檢漏儀的自動校準(zhǔn)功能以及自動校準(zhǔn)程序，可隨時校準(zhǔn)檢漏儀的靈敏度、準(zhǔn)確度。

4、特殊設(shè)計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、專利技術(shù)的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。

7、PLC控制，使系統(tǒng)運行清晰明了，實現(xiàn)了實時監(jiān)測及控制。

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氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）

1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進(jìn)行耐壓強(qiáng)度和大漏氣密性檢驗；

2、對被檢工件抽真空；

3、對被檢工件充注氦氣；

4、真空箱法氦質(zhì)譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

5、回收并循環(huán)使用氦氣；

6、如果氦氣浪費嚴(yán)重，可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進(jìn)行提純

7、PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。

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