蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的原理及性能,你了解多少?

蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等片置于坩堝前方。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜。電氣設(shè)備包括測量真空和膜層厚度及控制臺等。因此，排氣系統(tǒng)既要求在較短的時間內(nèi)獲得低氣壓以保證快速的工作循環(huán)，也要求確保在蒸氣鍍膜時迅速排除從蒸發(fā)源和工作物表面所產(chǎn)生的氣體。為了提高抽氣速率，可在機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間加機(jī)械增壓泵。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。蒸發(fā)式真空鍍膜機(jī)常用蒸發(fā)源是用來加熱膜材使之汽化蒸發(fā)的裝置。真空室是放置鍍件、進(jìn)行鍍膜的場所，直徑一般為400~700mm，高400~800mm，用不銹鋼制作，有水冷卻裝置。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)系統(tǒng)包括蒸發(fā)源和加熱蒸發(fā)源的電氣設(shè)備。

鍍膜設(shè)備類型：

—空氣：(1)進(jìn)口和出口區(qū)配備動態(tài)鎖定輥系統(tǒng)，確保帶材不間斷運(yùn)動(2)帶材緩沖器、連接和分離裝置以及放置于鍍膜機(jī)前、后端大氣中的放卷機(jī)和收卷機(jī)，以保證連續(xù)生產(chǎn)(3)生產(chǎn)周期僅受限于靶材/真空腔體內(nèi)蒸發(fā)物儲存量

—分批式：(1)真空工藝區(qū)入口和出口處連接的卷軸裝載鎖定腔體，使用帶材閥隔開(2)可在不中斷工藝真空的前提下裝載和卸載卷軸(3)生產(chǎn)周期為1卷軸的時間，然后停止，進(jìn)行卷軸更換；帶材廢料長度約為工藝部分的兩倍(4)電子束工藝配備額外的檔板，用以補(bǔ)償卷軸更換

鍍膜模式：單面鍍膜：(1)所有鍍膜工具均位于帶材的一側(cè)(2)使用電子束(EB)工藝時，（一般情況下）帶材的底側(cè)將被鍍膜雙面鍍膜：(1)鍍膜工具均位于帶材的一側(cè)，卷材改變走帶方向(2)需要二次鍍膜與傳動裝置配備

非接觸式鍍膜選項(xiàng)針對敏感的光學(xué)鍍膜，提供非接觸式機(jī)器概念。

切削工具真空鍍膜機(jī)

切削工具真空鍍膜機(jī)可以提高工具的切削速度和給刀量，降低加工的時間和成本，更長的使用壽命降低了工具更換的成本，涂層具備的熱穩(wěn)定性、熱硬度和能力、低摩擦系數(shù)和低粘附傾向。真空鍍室的真空密封和室內(nèi)運(yùn)動部件的設(shè)計和用材，充分考慮可承受高溫，配置多只園形電弧蒸發(fā)源，或配多個矩形平面電弧蒸發(fā)源，也可配多只空心陰極槍，同時配置耐沖擊的、具有優(yōu)異滅閃弧性能的偏壓電源，保證足夠等離子體密度和反應(yīng)活性，提高膜層致密性和結(jié)合力。工件可三維運(yùn)動，提高膜層均勻性。全自動控制提高工藝穩(wěn)定性。

PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè)

PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè),PVD鍍膜技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩大類：裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時使工件更耐磨耐腐蝕延長其使用壽命;這方面主要應(yīng)用五金行業(yè)的各個領(lǐng)域，如門窗五金、鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系數(shù)，提高工件的使用壽命;這方面主要應(yīng)用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產(chǎn)品中。