電子束鍍膜設(shè)備介紹

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電子束蒸鍍（Electron Beam Evaporation）是物理氣相沉積的一種。與傳統(tǒng)蒸鍍方式不同，電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準(zhǔn)地實(shí)現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)靶材，使之融化進(jìn)而沉積在基片上。電子束蒸鍍可以鍍出高純度的薄膜。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。

1、樣品臺：水冷樣品座，樣品座高度可調(diào)，便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍：樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.

2、電子槍：電子槍功率6kW可調(diào)（滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā)）4穴水冷坩堝（適用于對多種材料進(jìn)行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好）。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性，配制高品質(zhì)束流掃描控制器，具有多種供控制程序進(jìn)行選擇的預(yù)設(shè)模式，方便于操作、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累。電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的系統(tǒng)裝置介紹1、系統(tǒng)自動監(jiān)控和保護(hù)功能強(qiáng)，包括斷水報警、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)等。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應(yīng)不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復(fù)性.

電子束鍍膜機(jī)電源柜的操作

1. 總電源

2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延遲開關(guān)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延遲 及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會常亮。

3. 開高壓，高壓會達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。

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