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在排除電路部分的故障后,愛德華真空泵維修應(yīng)考慮以下兩個因素:
1、檢查電機(jī)是否燒壞:主要為電機(jī)定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線國。軸承損壞就更換軸承;電機(jī)線國燒毀則應(yīng)維修電機(jī),重新繞制定子線國。軸承和線器損壞嚴(yán)重時,就需更換電機(jī)了。
渦輪分子泵的極限壓力p1可用泵出口壓力p2除以泵的壓縮比K得來,即(2-24) K 渦輪分子泵的K值,隨分子量的增加而增大,它對油蒸氣的壓縮比特別大 因而能夠獲得碳?xì)浠衔镂廴据^少的清潔真空,但對于輕的氣體如氫的壓縮比卻很 低,所以前級氫分壓是影響泵的極限壓力的因素,氫的分壓主要來源于前級 機(jī)械泵運(yùn)轉(zhuǎn)時油裂解產(chǎn)生氫的影響,不同牌號的前級機(jī)械泵油,對分子泵的極限壓 力的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于泵軸承潤滑油的影響。高壓縮比的分子泵,經(jīng)過烘烤后能獲得 1×10=6~1×10-9Pa的真空度,氫占?xì)堄鄽怏w成分的90%以上。
真空泵由于用途不同,泵腔內(nèi)的雜質(zhì)和情況也不同,但是不管那種泵都避免不了空氣中的水份對泵內(nèi)腔所造成的腐蝕和生銹,尤其是油泵,拆開泵后里面銹跡斑斑,銹跡影響了油的使用,油很快臟,里面的過濾換了新的也很快臟,油管堵住,不暢,油里面充滿雜質(zhì),這樣整體的一個泵情況肯定好不了,所以泵用了一段時間后,起碼的保養(yǎng),尤其油泵則是必須的。
泵腔按照順序打開,各部件按照要求清潔,查看密封件,有無被侵蝕老化,更換密封件,換過濾件,修正機(jī)件,按照精度裝泵試泵。
采用真空電氣元件控制泵入口壓力
在分子泵的入口管路處安置真空膜盒繼電器或電接點真空壓力表等壓力敏感元件。真空系統(tǒng)啟動后,當(dāng)分子泵入口處壓力低于給定值(泵允許啟動壓力)時,壓力敏感元件發(fā)出信號,經(jīng)電氣控制系統(tǒng)開啟分子泵(如真空系統(tǒng)中裝有羅茨真空泵旁通管路,則同時關(guān)閉旁通管路閥門)。若泵入口壓力高于規(guī)定值時,則自動關(guān)閉分子泵(或同時打開泵旁通管路閥門),從而保證了分
子泵的可靠運(yùn)轉(zhuǎn)。