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發(fā)布時(shí)間:2021-09-29 20:03  






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廣州潽拓光電——渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。

這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。



分子泵的原理

       分子泵是一種動量型真空獲得設(shè)備,子分子流態(tài)下,氣體分子與高速運(yùn)動的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動量,從而使氣體分子得到逐級壓縮,后被抽除。



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Varian TV301分子泵有四種規(guī)格,分別為

1. Varian TV 301 ISO100-K

2.Varian TV301 ISO160-K

3.Varian TV301 Cf100

4.Varian TV301 CF160




分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

半導(dǎo)體行業(yè)是全球信息化產(chǎn)業(yè)的基石,無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看,重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展源源不斷地給半導(dǎo)體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術(shù)作為一門與應(yīng)用科學(xué)緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎(chǔ)科學(xué),在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。其中,分子泵作為很多半導(dǎo)體制造設(shè)備的零部件之一,廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)制造的各個(gè)工藝。那你還知道分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)中有哪些應(yīng)用嗎?對不同用途的分子泵(比如耐高溫,耐震動,耐腐蝕)擁有豐富的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。想了解更多可以關(guān)注我們廣州潽拓光電科技有限公司 varian真空分子泵性能

薄膜沉積設(shè)備薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜,這些薄膜可以是絕緣體、半導(dǎo)體或?qū)w。它們由不同的材料組成,是使用多種工藝生長或沉積的。通用的沉積技術(shù)有化學(xué)氣相淀積(CVD)、蒸發(fā)和濺射PVD。一般來說,其中還要夾雜低溫(≤500℃)退火工藝等熱處理工藝,用以增進(jìn)金屬層和半導(dǎo)體之間的低電阻接觸、消除內(nèi)應(yīng)力等。設(shè)備運(yùn)行過程中需要高潔凈的真空環(huán)境,一般采用以磁懸浮分子泵為主的無油真空系統(tǒng)。廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設(shè)備技術(shù)研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力雄厚,充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。 varian真空分子泵性能


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