擴(kuò)散硅壓力變送器

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擴(kuò)散硅壓力變送器是壓力變送器中比較小巧、重量輕、價格低的一款產(chǎn)品，具有安裝方便、性能穩(wěn)定、工作可靠等特點，在正負(fù)壓力測量的環(huán)境中得到廣泛的使用，感溫元件采用進(jìn)口擴(kuò)散硅或陶瓷芯體元件器，傳感器內(nèi)采用電子放大器組成，將測量的信號轉(zhuǎn)換成0-10MA或4-20MA的輸出信號。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂是怎么產(chǎn)生的？

溫漂：是指受溫度影響而引起的零點不穩(wěn)定。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂主要來源于兩個方面：

一方面是零部件本身的溫漂；

第二方面是傳感器在膨脹過程中產(chǎn)生的應(yīng)力，傳感器的核心器件是壓力芯片，壓力芯片本身對溫度就比較敏感，會隨著溫度的變化產(chǎn)生一定的漂移量；另外在封裝過程中，傳感器需要充灌硅油，以便把力從壓力膜片，傳導(dǎo)到壓力芯片上，硅油在溫度變化中，產(chǎn)生熱脹冷縮，從而產(chǎn)生一定的應(yīng)力，這個應(yīng)力作用到壓力芯片上，造成傳感器的漂移；還有就是壓力芯片，他是用膠和傳感器底座連接在一起的，由于壓力芯片和傳感器底座是兩種不同的材料，膨脹系數(shù)不一樣，所以在溫度變化中兩種不同膨脹系數(shù)的材料之間也會產(chǎn)生一定的應(yīng)力，從而產(chǎn)生一定的溫漂，這些是擴(kuò)散硅壓力傳感器溫漂的主要來源。

為在一定程度上減少壓力傳感器的溫漂，技術(shù)人員在設(shè)計壓力傳感器的過程中，要盡量減少充油芯體相及的體積，以減少充油的量，在粘接壓力芯片的過程中，盡量選用合適的膠，以減少粘結(jié)產(chǎn)生的應(yīng)力，傳感器底座材料的選擇，要考慮和壓力芯片，膨脹系數(shù)相近的材料，從而減少溫漂的產(chǎn)生。

擴(kuò)散硅傳感元件原理及特點

壓阻效應(yīng)本質(zhì)就是應(yīng)力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的壓力時 , 使它們之間的能帶形狀發(fā)生變化 , 引起單晶體電導(dǎo)率的改變。 其變化值與所加的應(yīng)力大小和方向有著一定的關(guān)系。 擴(kuò)散硅應(yīng)變元件就是利用壓阻效應(yīng)制成的。

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