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廣州潽拓光電——渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。
這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
分子泵的原理
分子泵是一種動量型真空獲得設(shè)備,子分子流態(tài)下,氣體分子與高速運動的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動量,從而使氣體分子得到逐級壓縮,后被抽除。