爐襯采用全纖維硅酸鋁氈折疊塊組合而成，這樣大大減輕了罩身的重量，不僅提高了保溫效果而且降低了能耗。加熱元件采用電阻帶均勻的懸掛在爐膛的四周，并用陶瓷螺釘加以固定，堅(jiān)固又耐用。

　　爐座承圓形狀，采用耐火材料砌筑，并留有砂封槽，以便達(dá)到密封的效果。

　　電氣控制柜采用PID過(guò)零觸發(fā)溫控調(diào)節(jié)儀來(lái)調(diào)節(jié)爐內(nèi)的功率和溫度，并安裝有超溫報(bào)警功能。并可根據(jù)用戶需要制作上位機(jī)，組態(tài)軟件動(dòng)態(tài)顯示。

退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋該诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

一般狀況下，罐內(nèi)的正常工作壓力規(guī)模是在30到50mbar左右，假設(shè)罐里面的壓力超過(guò)了55mbar并且工作了5分鐘，那就先檢查工作排放主動(dòng)閥門是不是在正常的工作，假設(shè)不是這個(gè)原因?qū)е碌?，就再檢查限壓閥芯體有沒(méi)有被卡住，然后不能正常的上下滑動(dòng)，出現(xiàn)這樣的狀況，一般都是由于閥內(nèi)含油的物質(zhì)過(guò)多，把限壓閥芯體給粘住了，只需整理掉這些物質(zhì)就可以處理問(wèn)題了。