光波超精密——?dú)飧≈本€導(dǎo)軌廠家

目前，國(guó)內(nèi)外大多數(shù)精密測(cè)量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動(dòng)部件，而以氣動(dòng)靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測(cè)量?jī)x要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來(lái)構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此測(cè)試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時(shí)承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺(tái)的移動(dòng)量，載重量及精度要求不同，

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安裝時(shí)，無(wú)論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡(jiǎn)單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)元件的平穩(wěn)滑動(dòng)。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購(gòu)時(shí)也要十分注意這一點(diǎn)。

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氣體靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過(guò)氣膜彼此隔離，當(dāng)壓縮空氣靜壓導(dǎo)軌和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生氣體摩擦。負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度降低，而負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤(rùn)滑作用。

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空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測(cè)量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測(cè)量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和承載部件通過(guò)氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導(dǎo)面之間的空隙排放出來(lái)的。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。

設(shè)備基本配置：裝置主要由高精度花崗石導(dǎo)軌組系統(tǒng)、精密氣浮工作臺(tái)系統(tǒng)、移動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、長(zhǎng)導(dǎo)軌電、氣傳輸隨動(dòng)系統(tǒng)、CCD 影像系統(tǒng)、溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。

自動(dòng)驅(qū)動(dòng)功能和影像測(cè)量功能的配置

3、設(shè)備的簡(jiǎn)單規(guī)格：3.1、精密導(dǎo)軌采用高精度花崗巖組拼接，長(zhǎng)度按客戶需求，高精度直線導(dǎo)軌的工作面應(yīng)無(wú)劃傷、裂紋、夾層、銹蝕等影響設(shè)備氣浮位移性和設(shè)備絕i對(duì)穩(wěn)定性的質(zhì)量缺陷。

導(dǎo)軌直線度：水平方向：0.003 mm/m 4000mm 0.015 mm； 若裝置行程 6 米以上即需要拼接，單根導(dǎo)軌長(zhǎng)度 4 米。

3.2 、導(dǎo)軌前端獨(dú)立的工作臺(tái)（不小于 1000x630）mm，安置備用鑲嵌件（螺紋孔），以放置激光測(cè)量系統(tǒng)。

3.3 、主支撐采用專用調(diào)整工裝，氣浮支撐調(diào)整裝置，每根導(dǎo)軌 3 個(gè)，其余采用 5 個(gè)輔助千斤頂支撐。3.4、滑動(dòng)工作臺(tái)系統(tǒng)：滑動(dòng)工作臺(tái)為氣浮結(jié)構(gòu)。

3.4.1. 手動(dòng)方式可實(shí)現(xiàn)微調(diào)，保證對(duì)線及其他定位（自動(dòng)方式另有方案）。

3.4.2. 氣浮滑動(dòng)工作臺(tái)上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學(xué)附件及標(biāo)準(zhǔn)  裝置。

3.4.3. 氣吸附滑動(dòng)工作臺(tái)承載能力大于 50 ㎏。

當(dāng)前直線導(dǎo)軌市場(chǎng)上有許多品牌，各品牌之間可以相互替代，這也是整體機(jī)械產(chǎn)品市場(chǎng)的發(fā)展趨勢(shì)。線性導(dǎo)軌選用時(shí)，先確定軌寬，軌寬是指滑軌的寬度。軌道寬度是決定其承載能力的一個(gè)重要因素。

第二，確定直線導(dǎo)軌的軌長(zhǎng)，這段長(zhǎng)度=有效行程 滑塊間距(2個(gè)以上滑塊) 滑塊長(zhǎng)度×滑塊數(shù)量 兩端安全行程，如加護(hù)欄，需加兩端護(hù)欄壓縮長(zhǎng)度。要注意的是，預(yù)先問(wèn)清楚該品牌的規(guī)格導(dǎo)軌整支的長(zhǎng)度，超過(guò)這個(gè)長(zhǎng)度就需要對(duì)接使用。

值得注意的是，直線導(dǎo)軌上的安裝孔間距是固定的，使用者在確定軌長(zhǎng)時(shí)要注意位置，如果沒(méi)有告知供應(yīng)商所需的端部尺寸，一般到貨狀態(tài)為10孔，導(dǎo)軌兩端面至各自安裝孔中心的距離為30、30，但也可以是其它尺寸。每個(gè)品牌在出貨終端尺寸上的規(guī)定略有不同，大多數(shù)產(chǎn)品默認(rèn)兩端相等。

此外還決定了滑塊的類型和數(shù)量，直線導(dǎo)軌常用的滑塊有兩種，法蘭型和方形。前一種安裝孔的高度較低，但較寬，安裝孔是貫穿螺紋孔，后一種較高，安裝孔是螺紋盲孔。這兩種類型都有短類型、標(biāo)準(zhǔn)類型和延長(zhǎng)類型，主要區(qū)別在于滑塊主體長(zhǎng)度不同；當(dāng)然安裝孔的孔間距也可能不同。

對(duì)大多數(shù)工業(yè)機(jī)械而言，普通級(jí)的精度可滿足要求，較高的精度可選擇 H級(jí)，較低的精度可選擇 C級(jí)，一般的設(shè)備選擇 P級(jí)，特別是超精密機(jī)械，選用 SP, UP級(jí)。

除了以上4個(gè)主要參數(shù)外，還需要確定一些其他參數(shù)，如組合高度類型、預(yù)壓級(jí)等。組裝型主要有兩類：高配置型和低配置型，正如其名稱所示，高配置型的組合高度較高，低配置型較低。