實(shí)驗(yàn)室凈化工程，無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室工程，實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)工程是企業(yè)針對(duì)一些要求相對(duì)較高，實(shí)驗(yàn)樣品對(duì)環(huán)境相對(duì)敏感。或者是空氣質(zhì)量過(guò)差會(huì)污染實(shí)驗(yàn)樣品，如生物制品、微生物研究、腦細(xì)胞實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)室、血細(xì)胞實(shí)驗(yàn)室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、病毒研究實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)合，就會(huì)必須要求對(duì)實(shí)驗(yàn)室或者實(shí)驗(yàn)室某些區(qū)域進(jìn)行空氣凈化工程系統(tǒng)處理。以使實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)設(shè)施達(dá)到符合實(shí)驗(yàn)要求的標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)驗(yàn)才得以安全進(jìn)行。25〉10000《35*10000（〈350〉《2500（〈2。實(shí)驗(yàn)室凈化工程是除了對(duì)實(shí)驗(yàn)樣品的安全起到保護(hù)的作用之外，也是為實(shí)驗(yàn)成功與實(shí)驗(yàn)人員的安全保駕護(hù)航的重大措施之一。實(shí)驗(yàn)室凈化工程是將實(shí)驗(yàn)室某一區(qū)域開辟出來(lái)，專門用于建造有空氣潔凈等級(jí)的、實(shí)驗(yàn)環(huán)境要求相對(duì)較高的實(shí)驗(yàn)室或者無(wú)菌室。實(shí)驗(yàn)室凈化工程系統(tǒng)與傳統(tǒng)的潔凈室系統(tǒng)其實(shí)是大同小異的，只不過(guò)實(shí)驗(yàn)室對(duì)潔凈室內(nèi)的壓力、微生物控制及溫濕度控制相對(duì)較工業(yè)潔凈室要嚴(yán)格。

潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。凈化實(shí)驗(yàn)室-如何選購(gòu)凈化設(shè)備：房間格局影響凈化效果：空氣凈化器的進(jìn)出風(fēng)口有360度環(huán)型設(shè)計(jì)的，也有單向進(jìn)出風(fēng)的，若在產(chǎn)品擺放上不受房間格局限制，則應(yīng)選擇環(huán)型進(jìn)出風(fēng)設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

氣壓規(guī)定對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。所以，前聯(lián)邦德國(guó)有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。