潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求；潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

國外潔凈室的強度要求極高，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標準的要求是．人工光300lx有較好的效果，當工件精細程度更高時500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度一般為(25—501x)，用天然光時可允許更高的照度，因而對工作是有利的，所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。2、光學微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機 增壓風柜 送風口與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。

之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動，因此表現(xiàn)為越容易帶電。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前

再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。1、組合式空氣處理機組 冷水機組 送風口這是一個傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。按集成電路的特征尺寸、集成度的不同，對空氣潔凈度等級、防微振、高純物質(zhì)等的要求是不同的，應(yīng)披具體工廠的產(chǎn)品品種確定。福州同盛凈化彩鋼板有限公司福州同盛凈化彩鋼板有限公司