工廠(chǎng)電子車(chē)間凈化建設(shè)注意什么

工廠(chǎng)電子車(chē)間凈化建設(shè)注意什么，先從電子車(chē)間凈化廠(chǎng)房的選址到布局設(shè)計(jì)，材料的質(zhì)量的選用，施工的安裝工序及質(zhì)量驗(yàn)收，以上每一項(xiàng)都要嚴(yán)格按照電子車(chē)間凈化廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范及施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范進(jìn)行操作。必要時(shí)還得安置一些輔助設(shè)備：如新風(fēng)口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等，這些設(shè)備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能。特別是GMP車(chē)間對(duì)廠(chǎng)房的選址到布局設(shè)計(jì)更為注意。

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怎么控制電子車(chē)間凈化的污染？

 潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。電子車(chē)間凈化凈化工程具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。想了解更多相關(guān)信息，可以咨詢(xún)昭明凈化機(jī)電工程有限公司，謝謝！

電子車(chē)間凈化風(fēng)淋室

風(fēng)淋室（AIR SHOWER），風(fēng)淋室和貨淋室是進(jìn)入電子車(chē)間凈化所必需的通道，可以減少進(jìn)出電子車(chē)間凈化所帶來(lái)的污染問(wèn)題。風(fēng)淋室是一種通用性較強(qiáng)的局部?jī)艋O(shè)備，安裝于電子車(chē)間凈化與非潔凈室之間。當(dāng)人與貨物要進(jìn)入潔凈區(qū)時(shí)需經(jīng)風(fēng)淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進(jìn)入潔凈區(qū)。風(fēng)淋室/貨淋室的前后兩道門(mén)為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。風(fēng)淋室是人進(jìn)入潔凈室所必需的通道，它可以減少進(jìn)出潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題，減少由于人貨進(jìn)出帶來(lái)的大量塵埃粒子由電子車(chē)間凈化的入口處安裝功能齊全的“氣閘室”可以減少空氣污染微粒的數(shù)量，當(dāng)人貨通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)，污染微粒被經(jīng)過(guò)過(guò)濾的高度潔凈空氣射掉，25m/s以上的高風(fēng)速確保了有效的噴射和飄移微粒經(jīng)過(guò)初效和兩級(jí)過(guò)濾器基本過(guò)濾掉。

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