閉路循環(huán)氣氦制冷機低溫泵，它是70年代出現的新型低溫泵（圖）。這種泵不消耗氦氣、操作簡便，易于維修，應用日漸廣泛。制冷機的制冷介質為氣氦，一級冷板溫度為50～100K，典型應用是65K,用來冷凝水蒸汽和預冷其他氣體;二級冷板溫度為10～20K，用來冷凝氮、氧等氣體。在二級冷板的內表面涂以活性炭。活性炭的比表面積為500～2500米2/克，在低溫下對氦有很強的吸附能力。

“氣蝕”不同于“氣堵”，“氣蝕”是一種對泵的損害過程。離心泵在運轉時，葉輪內部的壓力是不同的，進口處壓力較低，出口處壓力較高。而液體的氣化溫度是與壓力有關系的；壓力越低(或越高)，所對應的氣化溫度也越低(或越高)。如果液體進到泵里的溫度高于進口壓力所對應的氣化溫度，則部分液體會產生氣化，形成氣泡。低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚 (  厘米數量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于  帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。

低溫泵的一級冷臺上，設置屏蔽罩和擋板，溫度維持在80K。二級冷臺維持在15K，上面設置低溫罩和活性炭吸附劑。水蒸氣凝固在80K屏蔽罩和80K擋板上；氮氣、氧氣凝固在15K低溫罩上；氫氣、氦氣被吸附在15K低溫罩內側的吸附劑上。低溫泵可以對所有氣體排氣，但是如果吸附的氣體量過多，則排氣速度降低。這時，需要將低溫泵加熱，放出吸附的氣體后，重新使用。

提高NPSP在效值的幾種可能的辦法為：（1）提高貯槽與泵吸入口的液位差；（2）降低液體溫度（將貯槽氣相放空以減少熱蒸汽）；（3）提高貯槽的初壓（這種情況只適用液相平衡條件下的升壓）；（4）泵的進液管路與回氣路進行良好的絕熱包扎。離心式低溫液體泵的工作原理與離心水泵相同。離心泵是依靠旋轉葉輪對液體作功，將原動機的機械能傳遞給液體。當泵內充滿液體工作時，由于葉輪高速旋轉，液體在葉輪作用下產生離心力，驅使液體在從葉輪進口向出口流動的過程中，壓力能和速度能均增加，繼而在擴壓室內又將速度能進一步轉化成壓力能后輸出。