愛(ài)發(fā)科VDN301油旋片真空泵維修一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開(kāi)裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。

羅茨真空泵的選型技術(shù) 羅茨式真空泵（簡(jiǎn)稱羅茨泵）是一種無(wú)內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的，根據(jù)羅茨泵工作壓力范圍不同，它可分為直排大氣的干式羅茨泵和濕式羅茨泵，這種羅茨泵屬于低真空羅茨泵；此外還有中真空羅茨泵（機(jī)械增壓泵）和高真空多級(jí)羅茨泵等。近年來(lái)羅茨泵得到了廣泛的應(yīng)用。

抽氣量不足，真空度不足    當(dāng)愛(ài)發(fā)科真空泵抽氣量不足，就是真空度達(dá)不到要求，低真空，這個(gè)情況首先檢查愛(ài)發(fā)科真空泵油R-4/R-7是否充足，愛(ài)發(fā)科真空泵油是否干凈，如果真空泵油不足，首先加油，加油后，真空度達(dá)到要求，就是愛(ài)發(fā)科真空泵油不夠?qū)е隆Ｈ绻麗?ài)發(fā)科真空泵油充足，或者是換油后，愛(ài)發(fā)科真空泵還是真空度不足，有可能是愛(ài)發(fā)科真空泵密封套件老化，泄氣導(dǎo)致的，這個(gè)就需要專業(yè)技術(shù)人員拆開(kāi)進(jìn)行更換保養(yǎng)。

日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修：愛(ài)發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運(yùn)行，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力，所以泵能提供更強(qiáng)的安全性。

泵不良現(xiàn)象及原因分析

1、不良現(xiàn)象：真空泵運(yùn)行過(guò)載報(bào)警。

2、原因分析：

經(jīng)對(duì)真空泵進(jìn)行拆解， 發(fā)現(xiàn)以下幾個(gè)問(wèn)題點(diǎn)：

不良現(xiàn)象 原因分析

（1）轉(zhuǎn)子軸套部磨損：

因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：

因泵軸承損壞，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤(rùn)滑油因高溫氧化積碳。

（3）軸承磨損：

因軸承潤(rùn)滑脂失效，軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

干式螺桿真空泵結(jié)構(gòu)原理

干式螺桿真空泵是立式結(jié)構(gòu)，進(jìn)氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機(jī)和潤(rùn)滑油池。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接，該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。干式螺桿真空泵選用適當(dāng)?shù)妮^簡(jiǎn)單螺桿牙型截面，那么它的優(yōu)勢(shì)是則制造簡(jiǎn)單，可保證很高的加工精度，且容易動(dòng)平衡。根據(jù)其工作原理，我們可以可以明確地認(rèn)識(shí)到，干式螺桿真空泵是一種極限真空度高、消耗功率比較低、節(jié)能、免維修等優(yōu)點(diǎn)。

愛(ài)發(fā)科VDN301油旋片真空泵維修