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晶格有序度的均勻性:
這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問(wèn)題,具體見(jiàn)下。
主要分類(lèi)有兩個(gè)大種類(lèi):
蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類(lèi),包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等
一、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜:
一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。
厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4、真空度
5、鍍膜時(shí)間,厚度大小。
組分均勻性:
蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對(duì)于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
晶向均勻性:
1、晶格匹配度
2、基片溫度
3、蒸發(fā)速率
電路板鍍膜加工的方案優(yōu)勢(shì)有下述幾點(diǎn):納米涂層,厚度僅2-4納米,噴涂后,在PCB表面形成一張極薄的網(wǎng),有效降低PCB表面能量,如荷葉般疏水,散熱性能好,不影響連接器正常導(dǎo)電,防水值達(dá)到IPx7,浸泡在一米水深可達(dá)到一小時(shí),已經(jīng)滿(mǎn)足中國(guó)電子科技集團(tuán)成品的防水標(biāo)準(zhǔn),此外其耐腐蝕,抗酸堿,耐鹽霧功效顯著;材料不燃,不含VOC有機(jī)有毒的高揮發(fā)性溶劑,無(wú)毒無(wú)鹵素(氟,氯,,碘,)環(huán)保對(duì)人體,環(huán)境無(wú)污染;納米防水涂層已經(jīng)通IPX7防水認(rèn)證,也就是可以在1米的水域正常工作30分鐘不損壞。電子防水納米涂層液,工藝簡(jiǎn)單,浸泡之后自然晾干或烘烤(60度10分鐘烘烤機(jī)工序)既完成整個(gè)流程,單位成本低廉;不僅具備水接觸角,無(wú)厚度且不影響散熱,不影響信號(hào);耐鹽霧,耐酸堿腐蝕,;延長(zhǎng)電子產(chǎn)品壽命,降低成品故障率;
這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層,厚度均勻、致密無(wú)、透明無(wú)應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,是當(dāng)代的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。防水鍍膜機(jī)膜厚測(cè)量方法,涂層的鍍膜設(shè)備控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅(qū)動(dòng)的蒸發(fā)源,通過(guò)PID控制回路傳動(dòng)擋板,使蒸發(fā)率。Parylene是一種保護(hù)性高分子材料,中文名,聚對(duì)二,派瑞林它可在真空下氣相沉積,Parylene活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部,周?chē)纬蔁o(wú),厚度均勻的透明絕緣涂層,給元件提供一個(gè)完整的防護(hù)涂層,抵御酸堿、鹽霧、霉菌及各種腐蝕性氣件的侵害,因?yàn)镻arylene不是液體,所以涂敷過(guò)程中不會(huì)聚集,橋接式形成彎月面。
隨著信息產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,磁性元件越來(lái)越趨向于小型化,3-5㎜的軟磁芯,2-3㎜的稀土永磁材料,甚至尺寸更小的磁材都不斷被應(yīng)用,對(duì)磁材的防護(hù)提出了新的要求。將納米液滲透在無(wú)塵紙上,用于含有銀金屬材料產(chǎn)品之包裝、運(yùn)輸及儲(chǔ)存,是一種既經(jīng)濟(jì),又環(huán)保的長(zhǎng)期防止硫化的理想包裝材料。小型軟磁芯作饒線(xiàn)器件時(shí),經(jīng)聚對(duì)二涂敷后能耐1500-2000V甚至更高的電壓,由于聚對(duì)二摩擦系數(shù)低,饒成操會(huì)更滑溜,不傷線(xiàn),更便于操作,稀土釹鐵硼永磁材料是一種強(qiáng)磁材料,但這種材料在空氣中很不穩(wěn)定,尺寸較大的通常用電鍍或環(huán)氧電泳漆作防護(hù)涂層,尺寸較小的磁材,特別是環(huán)型和筒形的磁材,已不能用上述傳統(tǒng)方法實(shí)現(xiàn)可靠防護(hù),滿(mǎn)足使用要求。Parylene獨(dú)特的制備工藝和優(yōu)異性能相結(jié)合,使它能對(duì)小型超小型磁材進(jìn)行無(wú)薄弱點(diǎn)全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕,目前國(guó)際上小型超小型磁材,幾乎都采用Parylene作絕緣和防護(hù)涂層。