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流量控制器基本原理
通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。流量控制器基本原理通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量,即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
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質量流量計如何工作的
熱式氣體質量流量計件由兩個插入流體管道中的圓柱形探頭構成。被加熱探頭里面含有一個加熱器,在靠近壁面附近布置一個溫差熱電偶并用導熱系數與密度之比較大的石墨填充。探頭內布置一個熱電偶并用石墨填充。為更好的進行動態(tài)測量,所用熱電偶均采用直徑為0.1mmK型的NiCr-NiSi.。系統熱平衡分析當流量傳感器被置于流體管道中,在流態(tài)穩(wěn)定時,探頭與周圍介質處于近似的熱平衡狀態(tài),這時流體、探頭、測量桿和管道組成一個傳熱系統,此時的系統熱平衡方程為:傳感器世界2007.9.靜態(tài)變化函數曲線氣流方向閥門待標定流量計。標定方案示意圖。標定曲線利用傳熱學理論,結合熱式流量計應用的工況場合,對于實際的熱交換過程有: 1、熱探頭與流體間的對流換熱對流換熱a包括受迫對流換熱和自然對流換熱。假設流管橫置,熱探頭壁面與流體溫差為60*C,則當流體流速大于1m/s時,G/e2<0.1,此時自然對流換熱與由于流體運動所導致的受迫對流換熱相比十分微弱。三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓,適當調節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。實際測量中G/2<<1,可以忽略自然對流換熱的影響。 2、熱探頭向測量桿構架的導熱02隨著構架材料導熱系數的不同,02差別很大。在探頭設計中,盡可能采用導熱系數小的材料制造構架并采用絕熱、絕緣硅膠對探頭密封以減少導熱量。導熱量02計算公式如下:,dt A一桿構架的橫截面積;A―桿構架導熱系數。 3、熱式氣體質量流量計熱探頭向周圍的輻射換熱03熱探頭表面溫度為,它要向氣流和另一個探頭進行輻射換熱。將探頭表面磨光或鍍上一層發(fā)射率小的金屬并使其溫度保持在100*C之內,以減小輻射換熱。根據輻射換熱公式:一斯特藩一波爾茲曼常數;4一探頭外表面面積;一熱探頭溫度;T:來流溫度。
流量控制器
質量流量控制器在正常工作時,流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時發(fā)現的,簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎,在傳感器內部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅動線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時,振動管作往復周期振動,工業(yè)過程的流體介質流經傳感器的振動管,就會在振管上產生科氏力效應,使兩根振管扭轉振動,安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號,這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。流量控制器特點1、穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化2、寬量程比,可達100:13、高達0。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時,振管的主振頻率不同,據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。
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