流量控制器基本原理

通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來(lái)計(jì)量氣體流量的。氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。

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流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程, 在工作的過(guò)程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。在探頭設(shè)計(jì)中，盡可能采用導(dǎo)熱系數(shù)小的材料制造構(gòu)架并采用絕熱、絕緣硅膠對(duì)探頭密封以減少導(dǎo)熱量。

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流量控制器安全使用準(zhǔn)則

①質(zhì)量流量控制器應(yīng)用的成功與否，與安裝有直接關(guān)系。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動(dòng)影響，因?yàn)橘|(zhì)量流量控制器是基于振動(dòng)原理工作的，外加振動(dòng)會(huì)引入干擾。但盡可能小的外界干擾對(duì)測(cè)量無(wú)疑是有益的，所以對(duì)來(lái)自管線及現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的振動(dòng)要盡量設(shè)法避免。因此在低和非常低流速流動(dòng)時(shí)要獲得準(zhǔn)確測(cè)量，必須遵循制造廠依據(jù)儀表設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)而定的安裝建議。

②儀表使用過(guò)程中在使用條件下有必要進(jìn)行準(zhǔn)確的零點(diǎn)標(biāo)定，質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測(cè)量?jī)x表，零點(diǎn)的漂移對(duì)測(cè)量結(jié)果有影響，長(zhǎng)期使用時(shí)一定要定期進(jìn)行標(biāo)定。

③一定要避免超過(guò)使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會(huì)引起儀表測(cè)量度的下降，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致儀表?yè)p壞。例如由于超過(guò)儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會(huì)使檢測(cè)線圈損壞而使儀表無(wú)法再使用。

④質(zhì)量流量控制器度高，其價(jià)格也很高，這就要求對(duì)其精心維護(hù)，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的振動(dòng)及使用條件進(jìn)行經(jīng)常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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