電子氣體污染控制要求日趨嚴格隨著電子消費品的升級換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品良率和缺陷控制越來越嚴格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?；旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標，直接與分析儀器技術(shù)進步帶來的較低檢測極限（直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到微米，而核凝結(jié)技術(shù)可達到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到納米，對于大宗氣體的純度都要求在級別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實驗室超高亮度技術(shù)指標已達到以上，對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級精餾生產(chǎn)技術(shù)指標到達的白氨的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至。

電子氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢

電子氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統(tǒng)的數(shù)量是根據(jù)機臺對流量的需求進行合理配置。特氣輸送設(shè)備必須采用全自動切換供氣，而且多設(shè)計了備用設(shè)備。對于低蒸汽壓氣體（等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精準控制流量，在氣源端一般會考慮配置精度的壓力變送器，電子秤，溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計。對于大流量的不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對流量的影響，還要考慮氣體經(jīng)過調(diào)壓閥減壓后的焦耳湯普遜效應(yīng)。

如何保證電子氣體的安全儲存

如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作，系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計，在眾多的國際標準規(guī)范如，等都有很詳細的規(guī)定，目前中國國內(nèi)也正在起草針對電子特種氣體的國家標準規(guī)范。通常而言，會根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性，將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對輸送系統(tǒng)，特別是系統(tǒng)，因總量較大，應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng)，需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

使用電子氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng)，也根據(jù)危險品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)（，酸性排風(fēng)系統(tǒng)（，溶劑排風(fēng)系統(tǒng)（和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（。換鋼瓶時的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接，經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對于毒、高反應(yīng)性和自燃氣體，應(yīng)使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等，安全輸送系統(tǒng)（正在被廣泛使用。其鋼瓶內(nèi)采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統(tǒng)（是全廠生命安全系統(tǒng)（的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。