大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。歡迎新老客戶來(lái)電咨詢！

測(cè)量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過(guò)控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來(lái)發(fā)送信號(hào)，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過(guò)任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過(guò)CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制，有必要測(cè)量這些膜厚度。



 

使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)絕i對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件

為了確保膜厚儀的安全操作，必須注意以下幾點(diǎn)：　　·始終按照操作手冊(cè)的要求操作膜厚儀；　　·不要損壞安全互鎖系統(tǒng)的任何元件，例如微動(dòng)開關(guān)等等；　　·不要對(duì)膜厚儀做任何改變。

考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度（粗糙度）時(shí)，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模擬為“粗糙層”，可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。