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浙江美兆-凈化車間——工業(yè)十萬(wàn)級(jí)凈化車間建設(shè)
認(rèn)識(shí)凈化車間照明燈的基本原理
凈化車間的照明原理是提供可見度,它與空氣供應(yīng)系統(tǒng)和降低污染相協(xié)調(diào)的正確照明度,是凈化車間設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)中不可或缺的組成部分。凈化車間的照明會(huì)根據(jù)室內(nèi)的使用,等級(jí)的分類和天花板上空氣供應(yīng)的結(jié)構(gòu)而發(fā)生改變,照明系統(tǒng)一定要提供良好的能見度,將污染控制把電磁場(chǎng)的產(chǎn)生與潔凈度的設(shè)計(jì)考慮進(jìn)去。 工業(yè)十萬(wàn)級(jí)凈化車間建設(shè)
因此在凈化車間中用防塵材料及產(chǎn)品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。 工業(yè)十萬(wàn)級(jí)凈化車間建設(shè)
浙江省美兆-凈化車間——工業(yè)十萬(wàn)級(jí)凈化車間建設(shè)
新科技凈化車間廠房?jī)?nèi)應(yīng)用很多的易i燃易i爆性與易i燃性氣體,比如SiH4、H2、PH3
等,更提升廠房?jī)?nèi)的潛在性風(fēng)險(xiǎn),如果沒有適度的防范措施與對(duì)策,因而,為了更好地減少火災(zāi)產(chǎn)生時(shí)工作人員的死傷與財(cái)產(chǎn)的損害,務(wù)必對(duì)建筑開展煙流控制,這一點(diǎn)馬來(lái)西亞已強(qiáng)制性要求實(shí)行,而在相鄰的日本、內(nèi)地或中國(guó)香港也是有相近煙流控制政策法規(guī),其目地全是在減少火災(zāi)產(chǎn)生時(shí),高溫?zé)熈鲗?duì)職工生命及機(jī)器設(shè)備環(huán)境污染的損害。
工業(yè)十萬(wàn)級(jí)凈化車間建設(shè)
浙江省美兆-凈化車間——工業(yè)十萬(wàn)級(jí)凈化車間建設(shè)
此設(shè)計(jì)方案務(wù)必有兩個(gè)假設(shè)創(chuàng)立才可以充分發(fā)揮其作用,第i一個(gè)假設(shè)為:若火災(zāi)產(chǎn)生于凈化車間中,則凈化車間上邊的FFU
下吹豎直層.流速率務(wù)必大于火災(zāi)煙i塵向升高的速率,才可以抑制凈化車間火災(zāi)造成的煙i塵,將其導(dǎo)向往下至下一層回風(fēng)區(qū)中,隨后經(jīng)過排氣管通風(fēng)風(fēng)管開啟的水利閘門吸走。第二個(gè)假設(shè)為:若火災(zāi)產(chǎn)生于下一層回風(fēng)區(qū)中,則升高的煙i塵會(huì)堆積于下一層回風(fēng)區(qū)的上端,讓煙i塵由排氣管通風(fēng)風(fēng)管開啟的水利閘門吸走。殊不知所述二種假設(shè)在現(xiàn)實(shí)情況中皆難以創(chuàng)立,由于從凈化車間吊頂天花板下吹的豎直層.流速率在0.25-0.5
m/s
上下,而火災(zāi)的熱釋放出來(lái)率只需超過5kW,煙i塵的往上速率便會(huì)超過0.5
m/s,隨后煙i塵會(huì)在上邊堆積產(chǎn)生蓄煙層,這時(shí)從凈化車間吊頂天花板下吹的氣旋總是導(dǎo)致煙i塵更快速的外擴(kuò)散,造成更高的傷害。
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