凈化車(chē)間工程可分為空氣凈化與水凈化

凈化車(chē)間工程可分為空氣凈化與水凈化，空氣凈化是在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

高新風(fēng)量化學(xué)污染物是不能夠采用過(guò)濾手段清除的

高新風(fēng)量 化學(xué)污染物是不能夠采用過(guò)濾手段清除的,它只能通過(guò)大量的新風(fēng)換氣,把它稀釋及排出手術(shù)室外。因此,手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)必須具有高而穩(wěn)定的新風(fēng)量。 有些國(guó)家的標(biāo)準(zhǔn)容許較低的新風(fēng)量,但必須配合較高的空氣循環(huán)次數(shù),在ASHRAE明確表示只需在當(dāng)?shù)赜兴?guī)定的國(guó)家才需要100%的新風(fēng)系統(tǒng)。因此,在空氣循環(huán)來(lái)自同一手術(shù)室的情況下,以下的新風(fēng)量是允許的： （1）特別潔凈手術(shù)室(I級(jí))新風(fēng)量不低于1000m3/h。 （2）標(biāo)準(zhǔn)潔凈手術(shù)室(II級(jí))新風(fēng)量不低于800m3/h。 （3）一般潔凈手術(shù)室(III級(jí))新風(fēng)量不低于800m3/h。 （4）準(zhǔn)潔凈手術(shù)室(IV級(jí))新風(fēng)量不低于送風(fēng)量的25%。 送風(fēng)應(yīng)通過(guò)天花板送風(fēng),回風(fēng)應(yīng)通過(guò)兩側(cè)在距地面垂直距離150mm以上，500mm以下的位置回風(fēng),送風(fēng)口必須采用單向式并帶有過(guò)濾器,一般的送風(fēng)散流器不適用于手術(shù)室。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。 具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。 濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。 潔凈室中的氣壓規(guī)定 對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

無(wú)窗潔凈室的照明方式有哪些?

潔凈室的照度控制 由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容大都有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房屋，所以對(duì)照明一向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式： (1)一般照明 它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。 (2)局部照明 這是指為增加某一地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。 (3)混合照明 這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。 國(guó)外潔凈室的強(qiáng)度要求極高，例如美國(guó)關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是． 100級(jí): 1080-16001x 10000級(jí): >lOOOlx 100000級(jí): >1000LX 人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí)，500x也是允許的。對(duì)于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車(chē)間，其照度一般為25—501x)， 用天然光時(shí)可允許更高的照度，因而對(duì)工作是有利的，所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。