真空爐一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

低真空高壓熱處理技術(shù)非常值得：重視高質(zhì)量、低消耗、無污染、效益是我們熱處理行業(yè)長期奮斗的目標(biāo)。低真空熱處理是真空熱處理家族中一支生力軍，是一種廉價的真空熱處理技術(shù)。改變爐壓可以迅速排除膛內(nèi)氧、水蒸氣等有害氣體，加速滲碳、滲氮過程。

高速鋼的刀具鹽浴淬火對社會的危害及環(huán)境污染有目共睹。為了響應(yīng)國家節(jié)能減排號召，不少工具廠應(yīng)用真空淬火比較成功，也比較成熟，但也有些企業(yè)反映真空淬火冷卻速度不夠快。

將真空釬焊和淬火相結(jié)合是很有生機的復(fù)合熱處理技術(shù)。國內(nèi)機械刀片用量很大，如將釬焊或金鋼小型刀片都放在真空爐中處理也是可能的。

隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展和現(xiàn)代生產(chǎn)的迫切需要，真空熱處理技術(shù)的應(yīng)用越來越廣泛。真空熱處理技術(shù)具有無氧化，無脫碳，有脫脂，能除氣，表面質(zhì)量好，畸變小，熱處理工件綜合性能好，以及無污染，無公害，自動程度高等一系列優(yōu)點，有熱處理工序的企業(yè)應(yīng)根據(jù)情況選擇購買合適的真空爐，充分發(fā)揮真空熱處理之優(yōu)勢，不能把真空爐當(dāng)成一種擺飾，應(yīng)該產(chǎn)生效益。