電子束蒸發(fā)的優(yōu)點(diǎn)在于：

電子束的光斑可以隨意調(diào)整，可以一槍多用，燈絲可以隱藏，避免污染，可以蒸發(fā)任意鍍膜材料，維修方便，蒸發(fā)速度可以隨意控制，材料分解小，膜密度高。機(jī)械強(qiáng)度好。濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面，通過(guò)動(dòng)能傳輸，令靶材的分子（原子）有足夠的能量從靶材表面逸出，在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強(qiáng)，薄膜的純度高，可以同時(shí)濺射多種不同成分的材料，但是對(duì)靶材的要求高，不能象電子槍一樣節(jié)約資源。目前運(yùn)用多的有磁控濺射，磁控濺射是指平行于陰極表面施加強(qiáng)電場(chǎng)，將電子約束在陰極靶材表面附近，提高電離效率。它是操作簡(jiǎn)單的一種，所以運(yùn)用非常廣。

真空鍍膜機(jī)真空的清洗方法,你知道嗎?

真空鍍膜機(jī)真空清洗一般定義為在真空工藝進(jìn)行前，先從工件或系統(tǒng)材料表面清除所不期望的物質(zhì)的過(guò)程。真空零部件的表面清洗處理是很必要的，因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。此外，由于污染物的存在，還會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。

一．真空加熱清洗

將工件放置于常壓或真空中加熱．促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來(lái)達(dá)到清洗的目的，這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時(shí)間的長(zhǎng)短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關(guān)。其原理是加熱工件．促使其表面吸附的水分子和各種碳?xì)浠衔锓肿拥慕馕饔迷鰪?qiáng)。解吸增強(qiáng)的程度與溫度有關(guān)。在超高真空下，為了得到原子級(jí)清潔表面，加熱溫度必高于450度才行．加熱清洗方法特別有效。但有時(shí)，這種處理方法也會(huì)產(chǎn)生副作用。由于加熱的結(jié)果，可能發(fā)生某些碳?xì)浠衔锞酆铣奢^大的團(tuán)粒，并同時(shí)分解成碳渣

二．紫外線輻照清洗

利用紫外輻照來(lái)分解表面上的碳?xì)浠衔铩＠?，在空氣中照?5h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面。如果把適當(dāng)預(yù)清洗的表面放在一個(gè)產(chǎn)生臭氧的紫外線源中．要不了幾分鐘就可以形成清潔表面（工藝清潔)。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機(jī)理是：在紫外線照射下，污物分子受激并離解，而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用．形成較簡(jiǎn)單易揮發(fā)分子．如H203、CO2和N2．其反應(yīng)速率隨溫度的增加而增加．

真空鍍膜機(jī)使用前的準(zhǔn)備工作

在使用真空鍍膜機(jī)前，必須詳閱使用說(shuō)明書(shū)，熟悉整機(jī)結(jié)構(gòu)原理，各部件的作用和操作方法。

1、確認(rèn)水、電、氣均已安裝無(wú)誤后，先試運(yùn)行滑閥泵、羅茨泵，其轉(zhuǎn)動(dòng)方向要與各泵規(guī)定的方向一致。

2、檢查設(shè)備的各個(gè)動(dòng)力傳動(dòng)裝置運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。

3、檢查卷繞車的開(kāi)動(dòng)情況，檢查卷繞車與真空罐對(duì)接的密封是否可靠，檢查裝于導(dǎo)軌上的各個(gè)行程開(kāi)關(guān)是否工作正常，檢查履帶的安放及定位情況是否完好。

4、按照從低真空到高真空的次序，逐級(jí)調(diào)試真空系統(tǒng)，檢查各個(gè)環(huán)節(jié)的密封是否可靠，各個(gè)閥門(mén)開(kāi)閉是否靈活，霍爾開(kāi)關(guān)位置是否正確，各真空泵均應(yīng)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、無(wú)異常振動(dòng)、無(wú)異常噪音。

磁控濺射鍍膜設(shè)備如何使用效率才高?

磁控濺射鍍膜設(shè)備如何使用效率才高？ 這就需要增加氣體的理化效率。增加氣體的離化效率能夠有效的提高濺射的效率。 通常在健身過(guò)程中，經(jīng)過(guò)加速的入射離子轟擊靶材陰極表面的時(shí)候，會(huì)產(chǎn)生電子發(fā)射，而這些在陰極表面產(chǎn)生的電子開(kāi)始向陽(yáng)極加速進(jìn)入負(fù)輝光區(qū)，和中性氣體原子進(jìn)行碰撞，產(chǎn)生的自持的輝光放電所需離子。電子在平均只有程隨著電子能量的增大而增大，隨著氣壓的增大而減小，特別是在遠(yuǎn)離陰極的地方產(chǎn)生，它們的熱壁損失也是非常大的，這主要是因?yàn)槠潆x化效率低。 因此可以加上一平行陰極表面的磁場(chǎng)就能夠?qū)⒊跏茧娮酉拗圃陉帢O范圍內(nèi)，能夠有效的增加氣體原子的梨花效率，從而提高磁控濺射鍍膜設(shè)備的濺射效率。