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深圳大型磁控濺射鍍膜設(shè)備歡迎來電

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發(fā)布時間:2020-10-29 08:13  









真空鍍膜機的真空室該如何設(shè)計呢?


真空鍍膜機相比大家都存有疑惑,今天來討論一下的是關(guān)于真空鍍膜設(shè)備真空室的設(shè)計問題,要是您有興趣了解的話可以和寶瑞鈦金一起來看看下面的內(nèi)容。

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對真空度的影響要小,設(shè)計不能馬虎,要注意一些問題。



真空磁控濺射鍍膜機機械泵的分類

1.機械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此首要使用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此現(xiàn)在使用廣泛,這篇文章首要介紹)四種類型。

2.機械泵是從大氣開端作業(yè)的,它的首要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為規(guī)劃與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵能夠?qū)⑷萜鲝拇髿獬榈?.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵能夠?qū)⑷萜鲝拇髿獬榈?.7*10-2帕,甚至更高。

抽氣速率,是指旋片泵按額外轉(zhuǎn)數(shù)工作時,單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積,能夠用下公式核算:Sth=2nVs=2nfsLfs表明吸氣完畢時空腔截面積,L表明空腔長度,系數(shù)表明轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一星期有兩次排氣進(jìn)程,Vs表明當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時分,吸氣完畢,此刻空腔內(nèi)的體積大,轉(zhuǎn)速為n。

機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有聯(lián)系,當(dāng)電機的皮帶比較松,電機轉(zhuǎn)速很慢的時分,機械泵的排氣效果也會變差,所以要常常養(yǎng)護,點檢,機械泵油的密封效果也需求常常點檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會漏氣,油過多,把吸氣孔阻塞,無法吸氣和排氣,通常,在油位在線下0.5厘米即可。

3.機械泵常常被用來抽除枯燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有性和腐蝕性的氣體,機械泵通常被用來抽除性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。

旋片泵中起首要效果的部件是定子、轉(zhuǎn)子等,轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不一樣心軸,象兩個內(nèi)切圓,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩彈片中心裝有繃簧,確保了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。


在鍍膜的過程中,出現(xiàn)異樣具體該真么處理呢?

大家在鍍膜的過程中,可能有時候會發(fā)現(xiàn),膜層上有時會出現(xiàn)白點的異樣發(fā)生,經(jīng)過技術(shù)人員的檢測和排查,大部分都是因為產(chǎn)品周轉(zhuǎn)運輸或在爐內(nèi)生產(chǎn)時素材受到污染,產(chǎn)品表面有塵點、毛絲等,PVD出爐后灰塵脫落露出底材顏色。所以大家在使用真空磁控濺射鍍膜機鍍膜過程中縮短產(chǎn)品在爐外停滯時間及爐內(nèi)潔凈度管控,減少異物掉落在產(chǎn)品表面。有時膜層也會出現(xiàn)掉膜(點狀掉膜、局部掉膜、邊緣掉膜)情況,不知道大家有沒有碰到過。它主要產(chǎn)生的原因是產(chǎn)品表面臟污,膜層無法在產(chǎn)品上沉積或結(jié)合力差,在自然或人為的因素下產(chǎn)品表面漏出底材,所以大家在鍍膜前,一定要把產(chǎn)品清洗干凈,避免污染產(chǎn)品,確保表面潔凈度。還有一種經(jīng)常出現(xiàn)的情況,就是出現(xiàn)彩虹紋(產(chǎn)品發(fā)彩,出現(xiàn)這種情況主要原因是彩虹紋主要體現(xiàn)在顏色較深的產(chǎn)品上,因生產(chǎn)過程中形成一定角度遮擋,膜層無法均勻、有效的覆蓋在產(chǎn)品表面。因此鍍膜的時候,要更改更改裝夾方式,或者提高成膜能量。有的客戶會發(fā)現(xiàn),產(chǎn)品鍍膜出來后會出現(xiàn)臟污情況,導(dǎo)致出現(xiàn)這個主要原因是產(chǎn)品出爐后周轉(zhuǎn)過程中因人為因素造成的表面污染,解決流程是產(chǎn)品PVD下掛、檢查、打包作業(yè)人員手套、指套潔凈度及環(huán)境管控。


真空鍍膜封件的安裝方法:


安裝方法隨機械密封型式、機器的種類不同而有所不同,但其安裝要領(lǐng)幾乎都相同,安裝步驟和注意事項如下:(1)安裝尺寸的確定:安裝時,應(yīng)按產(chǎn)品的使用說明書或樣本,保證機械密封的安裝尺寸。

(2)裝入前,軸(軸套)、壓蓋應(yīng)刺,軸承狀況良好;密封件、軸、密封腔、壓蓋都應(yīng)該清洗干凈。為減少摩擦阻力,軸上安裝機械密封的部位要薄薄地涂上一層油,以進(jìn)行潤滑,考慮到橡膠O形圈的相溶性,若不宜用油,可涂肥皂水。浮裝式靜環(huán)不帶防轉(zhuǎn)銷的結(jié)構(gòu),不宜涂油,應(yīng)干式裝入壓蓋。

(3)先將靜環(huán)與壓蓋一起裝在軸上,注意不要與軸相碰,然后將動環(huán)組件裝入。彈簧座或傳動座的緊定螺釘應(yīng)分幾次均勻擰緊。

在未固定壓蓋之前,用手推補償環(huán)作軸向壓縮,松開后補償環(huán)能自動彈回?zé)o卡滯現(xiàn)象,然后將壓蓋螺拴均勻地鎖緊。


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