氦質(zhì)譜檢漏原理

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氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無(wú)色、無(wú)味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器，用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù)，氦檢漏設(shè)備，它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3/s，可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機(jī)械泵之間，氦檢漏設(shè)備價(jià)格，利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn)，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離，這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)，由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏設(shè)備保養(yǎng)，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào)，這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量，電流信號(hào)經(jīng)過(guò)放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率，通過(guò)泄漏率大小來(lái)確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣，是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無(wú)毒，不凝結(jié)，極難容于水。

氦檢漏設(shè)備的注意事項(xiàng)

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1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試，測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。

2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。

3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。

4.檢漏過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸槍，防止因儀器長(zhǎng)時(shí)間清除不掉氦影響而延誤測(cè)試。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障

檢漏技術(shù)在我國(guó)經(jīng)濟(jì)中占有非常重要的地位，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車等行業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏法與泡檢漏法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監(jiān)測(cè)靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無(wú)毒性、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn)，是諸多檢漏法中有效的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過(guò)程中，常見(jiàn)的故障就是燈絲脆斷，氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因?yàn)榧冩u絲高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后變得很脆，再受到?jīng)_擊或震動(dòng)時(shí)極易斷裂。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴(kuò)展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過(guò)程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯(cuò)能量，降低位錯(cuò)移動(dòng)的晶界阻抗，從而使位錯(cuò)遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現(xiàn)象稱為“萊塑化效應(yīng)”。該效應(yīng)降低了氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風(fēng)險(xiǎn)，錸濃度高時(shí)的塑化效應(yīng)降低。

鎢錸絲具有高熔點(diǎn)，高強(qiáng)度、高硬度、高塑性、高的再結(jié)晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等優(yōu)點(diǎn)。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長(zhǎng)的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發(fā)脆斷，在有氫氣存在的情況下，會(huì)加速碳化。

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檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。

6.使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題（如較大振動(dòng)、高噪音等），儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。