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運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時(shí)容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)人泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時(shí)，氣缸內(nèi)就完全充滿了氣體。就不一樣的內(nèi)外位置要用不同的材料以期待能達(dá)到不一樣的分離目的。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨著活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓強(qiáng)達(dá)到或稍大于大氣壓時(shí)，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再自左向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，又吸進(jìn)一部分氣體，重復(fù)循環(huán)，

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羅茨泵的工作原理：羅茨泵在泵腔內(nèi)，在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。        

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真空泵機(jī)組的轉(zhuǎn)子應(yīng)該如何進(jìn)行測(cè)量？

首先，我們需要進(jìn)行注意的，其實(shí)也就是會(huì)包括真空泵機(jī)組上面關(guān)于轉(zhuǎn)子徑向圓跳動(dòng)值方面的測(cè)量，要注意應(yīng)該要先把轉(zhuǎn)子直接的就放在了兩個(gè)V形鐵上面，緊接著，我們其實(shí)也就是應(yīng)該要注意把轉(zhuǎn)子上面的每個(gè)測(cè)量部位的圓周分成了幾等份，比較常見的也就是會(huì)被分成六等份。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。

按照同一方向慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵機(jī)組轉(zhuǎn)子，等到其每轉(zhuǎn)過一等份的時(shí)候，我們其實(shí)也就是應(yīng)該要記錄下一個(gè)讀數(shù)。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)了一周之后，對(duì)于每個(gè)測(cè)點(diǎn)來講的話，我們其實(shí)也就是會(huì)注意到它已經(jīng)得到了六個(gè)讀數(shù)，這個(gè)時(shí)候，我們其實(shí)也就是應(yīng)該要把這些讀數(shù)直接的就記錄在了表格當(dāng)中。對(duì)于干式真空泵來講，我們其實(shí)也就是要注意它有一個(gè)比較獨(dú)特的冷卻方式。

緊接著，我們其實(shí)也就是應(yīng)該要直接的就根據(jù)記錄計(jì)算出各個(gè)測(cè)點(diǎn)上的大跳動(dòng)值，要注意應(yīng)該是要用同一測(cè)點(diǎn)大讀數(shù)直接的就減去了其小讀數(shù)的差值，在很大的程度上來講的話，其實(shí)也就是這個(gè)測(cè)點(diǎn)部位上的一個(gè)徑向圓跳動(dòng)值。

對(duì)于真空泵機(jī)組上的轉(zhuǎn)子軸向圓跳動(dòng)值方面的檢查。這個(gè)時(shí)候，我們其實(shí)也就是要注意應(yīng)該是要直接的就把葉輪裝到了軸上面進(jìn)行測(cè)量其軸向圓跳動(dòng)值，比較重要的，其實(shí)也就是應(yīng)該要確保一下葉輪端面和軸中心線的垂直度應(yīng)該要符合要求。片式真空泵工作原理：旋片式真空泵(簡(jiǎn)稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。緊接著，我們其實(shí)也就是要注意應(yīng)要用一個(gè)百分表垂直的指在了葉輪的側(cè)面，緊接著，也就是應(yīng)該要把表針直接的就調(diào)整到了零位。

后，我們其實(shí)也就要注意，對(duì)于真空泵機(jī)組上的轉(zhuǎn)子進(jìn)行測(cè)量的一個(gè)主要目的，其實(shí)也就是為了處理因?yàn)檗D(zhuǎn)子徑向圓跳動(dòng)與軸向圓跳動(dòng)超差所導(dǎo)致的一個(gè)摩擦或者是軸的振動(dòng)，也正是因?yàn)槿绱耍驼婵毡脵C(jī)組上的轉(zhuǎn)子測(cè)量的實(shí)施也就是非常重要的。

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