由于產品的品質要求相對比較高，所以對廠房的依賴程度非常高，建廠過程中的質量直接導致產品質量的高低。施工時專業(yè)技術問題是一個非常，多專業(yè)、多行業(yè)的問題，還有組織管理、協調的問題。在安裝過程中，除常規(guī)安裝工藝外，必須著重要考慮施工對象和施工環(huán)境的潔凈、衛(wèi)生、無毒、美觀，施工工藝必須符合GMP認證的要求。項目在施工安裝過程中，各專業(yè)交叉配合作業(yè)量大，工序之間相互銜接要求高，因此，在施工時，必須制訂出詳盡的施工協作計劃，嚴格按照施工程序施工，保證環(huán)境潔凈、衛(wèi)生。

水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖

冰水系統(tǒng)分為一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12 度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤管:不結露的盤管,因凈化車間溫度在22 度,其溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進入凈化車間,所以進干盤管的冰水溫度在12-14 度.

4、控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤管系統(tǒng)控制

濕度:空調箱調節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調節(jié)空調箱盤管進水量。

正壓:空調箱調節(jié),根據靜壓感測的信號,自動調節(jié)空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節(jié)進入室內的新風量。

對于凈化車間的構造來講，照明燈具的成本不會超過總預算的1%，而照明的能源成本與凈化車間的hvac以及制程設備的功率需要相比較可以說是很小的，因此凈化車間的照明焦點便變成適當的照明度，與空氣供應系統(tǒng)相互協調，同時對安裝在該空間內特定的環(huán)境與制程的污染降低。很多凈化車間的表面具有很高的反射性，大部分的天花板，墻面，地板表面均光鮮亮麗，盡管這樣，材料顏色的選擇仍在考察中，便于改善使用者的環(huán)境。在凈化車間的設計結構中，照明系統(tǒng)使用常見的是熒光燈，因其能源，使用壽命長，維護成本低，

凈化車間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。