質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小。

質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量：

以單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）. 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量

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質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量通過(guò)流量計(jì)的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測(cè)量介質(zhì)的密度及間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機(jī)為核心的智能儀表，因此可根據(jù)上述三個(gè)基本量而導(dǎo)出十幾種參數(shù)供用戶使用。質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)靈活，功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比高，是新一代流量?jī)x表。

質(zhì)量流量計(jì)可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另一類為間接式或推導(dǎo)式，如應(yīng)用超聲流量計(jì)和密度計(jì)組合，對(duì)它們的輸出再進(jìn)行乘法運(yùn)算以得出質(zhì)量流量。

直接式質(zhì)量流量計(jì)有多種類型，如量熱式、角動(dòng)量式、陀螺式和雙葉輪式等。